| 摘要 | 第1-15页 |
| Abstract | 第15-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-37页 |
| ·研究背景与意义 | 第19-21页 |
| ·小型磁传感器现状分析 | 第21-24页 |
| ·GMR磁传感器的发展与挑战 | 第24-35页 |
| ·基本发展历程 | 第24-26页 |
| ·主要挑战及相关研究动态 | 第26-35页 |
| ·主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第二章 机-电-磁微结构磁场传感理论 | 第37-63页 |
| ·磁场静态调控理论 | 第37-43页 |
| ·磁力线聚集 | 第37-40页 |
| ·磁力线变轨 | 第40-43页 |
| ·磁场动态调控理论 | 第43-53页 |
| ·磁力线垂动调制 | 第43-51页 |
| ·磁场跟踪补偿 | 第51-53页 |
| ·三维磁场联合调控与传感理论 | 第53-56页 |
| ·基本内涵 | 第53-54页 |
| ·分量磁场转换与解耦 | 第54-56页 |
| ·机-电-磁噪声干扰耦合机理 | 第56-60页 |
| ·静电干扰耦合 | 第56-58页 |
| ·机械噪声耦合 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-63页 |
| 第三章 MEMS/GMR三轴一体化磁传感器设计方法 | 第63-81页 |
| ·传感器总体方案设计 | 第63-66页 |
| ·系统框架 | 第63-64页 |
| ·探头结构 | 第64-66页 |
| ·软磁微结构设计 | 第66-72页 |
| ·垂动调制膜参数优化 | 第66-70页 |
| ·变轨结构设计 | 第70-72页 |
| ·微硅压电回旋梁设计 | 第72-77页 |
| ·模态分析 | 第73-74页 |
| ·抗干扰能力分析 | 第74-75页 |
| ·微硅压电回旋梁结构优化 | 第75-77页 |
| ·微补偿线圈设计 | 第77-80页 |
| ·线匝励磁能力分析 | 第77-79页 |
| ·线圈综合设计 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第四章 传感器关键制造工艺 | 第81-101页 |
| ·硅基软磁微结构制备 | 第81-88页 |
| ·导电种子层沉积 | 第81-83页 |
| ·Ni Fe软磁膜生长 | 第83-84页 |
| ·厚膜图形化 | 第84-86页 |
| ·表征分析 | 第86-88页 |
| ·微硅结构高精加工 | 第88-95页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀 | 第88-89页 |
| ·微硅回旋梁制造 | 第89-93页 |
| ·高度控制层减薄 | 第93-95页 |
| ·微补偿线圈制备 | 第95-96页 |
| ·复合金属膜沉积 | 第95页 |
| ·高精度图形化 | 第95-96页 |
| ·多层微结构低温互联 | 第96-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第五章 传感器高精度测控系统 | 第101-121页 |
| ·测控系统总体设计 | 第101-102页 |
| ·低噪声前置放大 | 第102-106页 |
| ·基本原理 | 第102-104页 |
| ·电路仿真分析 | 第104-105页 |
| ·低噪声性能测试 | 第105-106页 |
| ·高分辨率信号检测 | 第106-113页 |
| ·基本理论 | 第107-111页 |
| ·仿真对比分析 | 第111-112页 |
| ·实验验证 | 第112-113页 |
| ·微硅压电回旋梁稳定驱动 | 第113-116页 |
| ·高精度补偿电流控制 | 第116-119页 |
| ·电流控制算法 | 第116-117页 |
| ·高精度电流产生电路 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119-121页 |
| 第六章 传感器弱磁性能测试与评估方法 | 第121-133页 |
| ·弱磁传感器测试系统 | 第121-125页 |
| ·测试系统搭建 | 第121-123页 |
| ·测试系统评估 | 第123-125页 |
| ·传感器测试分析 | 第125-130页 |
| ·响应特性 | 第125-126页 |
| ·噪声特性 | 第126-128页 |
| ·机电噪声干扰耦合 | 第128-130页 |
| ·传感器性能评估 | 第130-131页 |
| ·最小可探测磁场 | 第130页 |
| ·磁滞与非线性 | 第130-131页 |
| ·本章小结 | 第131-133页 |
| 第七章 总结与展望 | 第133-139页 |
| ·全文总结 | 第133-136页 |
| ·研究展望 | 第136-139页 |
| 致谢 | 第139-141页 |
| 参考文献 | 第141-149页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第149-150页 |