LED式固态薄膜厚度在线测量系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题的背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·薄膜厚度的测量方法 | 第9-11页 |
| ·激光测厚法 | 第9页 |
| ·探针测厚法 | 第9页 |
| ·射线测厚法 | 第9-10页 |
| ·红外线测厚法 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究现状 | 第11-12页 |
| ·国外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 测厚原理研究和测量系统总体方案 | 第15-25页 |
| ·红外测厚方法 | 第15-17页 |
| ·红外透射法 | 第15-16页 |
| ·红外反射法 | 第16-17页 |
| ·透射法测厚原理 | 第17-18页 |
| ·薄膜厚度在线测量系统设计 | 第18-23页 |
| ·传统的红外透射测厚方法 | 第18-19页 |
| ·光源的设计 | 第19-21页 |
| ·红外接收器的选择 | 第21-23页 |
| ·信号处理电路 | 第23页 |
| ·薄膜厚度在线测量系统总体方案 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 薄膜厚度在线测量系统的硬件实现 | 第25-52页 |
| ·测量环节的硬件实现 | 第25-39页 |
| ·光源的设计实现 | 第25-31页 |
| ·AC-DC200V稳压电路的设计实现 | 第31-34页 |
| ·前置放大器的设计 | 第34-36页 |
| ·滤波器的设计 | 第36-39页 |
| ·薄膜厚度在线测量系统主控板的设计实现 | 第39-50页 |
| ·薄膜厚度在线测量系统主控芯片选择 | 第40-41页 |
| ·主控板电源设计 | 第41-42页 |
| ·测试接口 | 第42-43页 |
| ·时钟电路 | 第43页 |
| ·复位电路 | 第43-44页 |
| ·通信接口 | 第44-47页 |
| ·A/D转换 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 薄膜厚度在线测量系统下位机的软件设计 | 第52-56页 |
| ·DSP软件开发平台简介 | 第52-53页 |
| ·下位机主程序设计 | 第53-55页 |
| ·初始化模块 | 第53-54页 |
| ·数据采集模块 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 薄膜厚度在线测量系统精度分析 | 第56-64页 |
| ·影响测量系统精度的因素 | 第56-59页 |
| ·光开环式测量系统 | 第56-57页 |
| ·平衡式测量系统 | 第57-58页 |
| ·非线性因素的影响 | 第58页 |
| ·薄膜材质和添加成分 | 第58-59页 |
| ·本系统的精度的分析 | 第59-63页 |
| ·光源驱动电路 | 第59-60页 |
| ·光敏电阻稳压电路 | 第60页 |
| ·前置放大器 | 第60-62页 |
| ·AD采样 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读学位期间申请及已获得的专利 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
