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SrAl2O4:Eu2+,Dy3+陶瓷靶材的制备及其薄膜制备工艺的探索

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 绪论第8-24页
   ·铝酸锶材料概述第8-9页
   ·SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)长余辉荧光粉的研究现状第9-16页
     ·SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)长余辉荧光粉的制备方法第9-12页
     ·稀土离子Eu~(2+),Dy~(3+)在铝酸锶中的发光特性及余辉机理第12-16页
   ·掺杂稀土离子铝酸锶发光薄膜的研究现状第16-22页
     ·射频磁控溅射法第16-21页
     ·溶胶-凝胶法第21页
     ·脉冲激光沉积法第21-22页
     ·激光熔蒸法第22页
   ·本文研究意义与内容第22-24页
第二章 实验方法和表征第24-36页
   ·实验材料第24页
   ·实验设备及原理第24-29页
     ·实验用主要设备第24-27页
     ·射频磁控溅射技术原理及特点第27-29页
   ·工艺流程与实验步骤第29-33页
     ·实验技术路线第29-30页
     ·荧光粉的制备过程第30页
     ·陶瓷靶材的制备过程第30-31页
     ·薄膜的制备过程第31-33页
     ·薄膜的热处理过程第33页
   ·样品的表征方法第33-36页
     ·X射线衍射(XRD)第34页
     ·差热分析和热重分析第34页
     ·扫描电子显微镜第34页
     ·X射线光电子能谱第34-35页
     ·荧光光谱仪第35-36页
第三章 SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)荧光粉和陶瓷靶材的制备及性能表征第36-48页
   ·助熔剂对荧光粉的烧成制度的影响第36-39页
     ·添加助熔剂的SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)荧光粉的差热分析第37-38页
     ·不加助熔剂的SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)荧光粉的差热分析第38-39页
   ·SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)荧光粉的结构分析第39-40页
   ·烧结温度和保温时间对陶瓷靶材致密度的影响第40-43页
   ·铕离子的变价对SrAl_2O_4:Eu,Dy陶瓷的发光性能的影响第43-47页
   ·本章小结第47-48页
第四章 SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)发光薄膜制备工艺探索第48-59页
   ·溅射参数对SrAl_2O_4:Eu~(2+),Dy~(3+)薄膜的影响第48-55页
     ·低功率远距离下沉积薄膜第48-50页
     ·XPS分析第50-52页
     ·高功率近距离下沉积薄膜第52-55页
   ·热处理工艺对薄膜光致发光性能的影响第55-58页
     ·薄膜样品的光致发光性能第55-56页
     ·硅片的光致发光性能第56-58页
   ·本章小结第58-59页
第五章 结论与展望第59-60页
   ·结论第59页
   ·展望第59-60页
参考文献第60-64页
致谢第64-65页
攻读学位期间的研究成果第65-66页

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