李萨茹扫描式微型激光投影显示技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·微型激光投影显示技术 | 第10-11页 |
| ·微型激光投影显示技术的研究现状 | 第11-20页 |
| ·面阵空间光调制式微型激光投影显示技术 | 第12-14页 |
| ·扫描式微型激光投影显示技术 | 第14-20页 |
| ·论文的研究目的及意义 | 第20页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 2 李萨茹扫描式微型激光投影显示技术的理论研究 | 第22-38页 |
| ·李萨茹扫描 | 第22-23页 |
| ·李萨茹扫描式微型激光投影显示技术的工作原理 | 第23-24页 |
| ·投影刷新率和投影分辨率 | 第24-30页 |
| ·像素点的定义 | 第24-27页 |
| ·投影刷新率的计算 | 第27页 |
| ·投影分辨率的计算 | 第27-30页 |
| ·李萨茹扫描频率的选择 | 第30-31页 |
| ·基于李萨茹扫描的图像编码算法 | 第31-36页 |
| ·图像编码的算法研究 | 第31-34页 |
| ·QVGA 级图像编码的仿真 | 第34-36页 |
| 本章小结 | 第36-38页 |
| 3 谐振式扫描镜的结构设计与性能分析 | 第38-72页 |
| ·谐振式扫描镜的结构设计 | 第38-52页 |
| ·驱动器的设计 | 第38-40页 |
| ·沟道隔离槽的设计 | 第40-46页 |
| ·结构参数的选择 | 第46-52页 |
| ·谐振式扫描镜的性能分析 | 第52-70页 |
| ·静电特性分析 | 第52-56页 |
| ·非线性动力学分析 | 第56-60页 |
| ·冲击特性分析 | 第60-61页 |
| ·扭转特性分析 | 第61-64页 |
| ·动态变形分析 | 第64-68页 |
| ·光学特性分析 | 第68-70页 |
| 本章小结 | 第70-72页 |
| 4 谐振式扫描镜的制作与性能测试 | 第72-96页 |
| ·版图与工艺设计 | 第72-77页 |
| ·版图设计 | 第72-74页 |
| ·工艺流程的设计与优化 | 第74-77页 |
| ·谐振式扫描镜的关键加工工艺 | 第77-86页 |
| ·沟道隔离槽的刻蚀工艺 | 第77-80页 |
| ·表面多晶硅去除工艺 | 第80-82页 |
| ·结构层的光刻工艺 | 第82-83页 |
| ·背面铝层溅射工艺 | 第83-84页 |
| ·样件制备及封装 | 第84-86页 |
| ·谐振式扫描镜的性能测试 | 第86-95页 |
| ·机电性能测试 | 第86-92页 |
| ·光学性能测试 | 第92-94页 |
| ·可靠性测试 | 第94-95页 |
| 本章小结 | 第95-96页 |
| 5 李萨茹扫描式微型激光投影显示技术的实现 | 第96-116页 |
| ·激光投影显示系统的总体方案设计 | 第96页 |
| ·激光投影显示系统的硬件设计 | 第96-101页 |
| ·激光器及其驱动电路 | 第97-99页 |
| ·微控制器及其外围电路 | 第99-100页 |
| ·谐振式扫描镜的驱动电路 | 第100-101页 |
| ·激光投影显示系统的软件设计 | 第101-110页 |
| ·上位机的图像编码模块 | 第102页 |
| ·下位机的时钟和复位模块 | 第102-104页 |
| ·下位机的激光调制模块 | 第104-108页 |
| ·下位机的 DDS 造波模块 | 第108-110页 |
| ·激光投影显示系统的光学放大镜头设计 | 第110-112页 |
| ·激光投影显示系统的原理样机 | 第112-115页 |
| 本章小结 | 第115-116页 |
| 6 总结与展望 | 第116-120页 |
| ·总结 | 第116-117页 |
| ·工作展望 | 第117-120页 |
| 参考文献 | 第120-128页 |
| 致谢 | 第128-130页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第130-132页 |
