| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·铁电材料 | 第9-18页 |
| ·铁电体的概述及分类 | 第9-14页 |
| ·铁电材料的发展 | 第14-15页 |
| ·铁电材料研究进展 | 第15-16页 |
| ·铁电薄膜的发展及其应用 | 第16-18页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3材料的研究现状 | 第18-21页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3概述 | 第18-20页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3材料的性质及应用 | 第20-21页 |
| ·本文选题依据和主要内容 | 第21-23页 |
| ·本文选题依据 | 第21页 |
| ·本文主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 薄膜制备技术及测试分析方法 | 第23-32页 |
| ·铁电薄膜的制备技术 | 第23-28页 |
| ·磁控溅射法(magnetron sputtering) | 第23-24页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第24-25页 |
| ·金属有机物化学气相沉积法(MOCVD) | 第25-26页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第26-28页 |
| ·铁电薄膜的分析测试方法 | 第28-31页 |
| ·薄膜微观结构的表征 | 第28-29页 |
| ·薄膜电学性能的测试 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 NBT-BT-BFO 铁电薄膜的制备及表征 | 第32-45页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·NBT-BT-BFO 铁电薄膜的 Sol-Gel 法制备 | 第32-38页 |
| ·实验所用原材料及仪器 | 第32-34页 |
| ·前驱体溶液的配置 | 第34-35页 |
| ·衬底的选择与处理 | 第35-36页 |
| ·薄膜制备流程 | 第36-37页 |
| ·薄膜顶电极的制备 | 第37-38页 |
| ·NBT-BT-BFO 铁电薄膜的表征 | 第38-44页 |
| ·NBT-BT-BFO 铁电薄膜 XRD 结构分析 | 第38-39页 |
| ·NBT-BT-BFO 铁电薄膜的表面形貌及截面形貌 | 第39-40页 |
| ·NBT-BT-BFO 铁电薄膜的 P-V 及 I-V 特性 | 第40-43页 |
| ·NBT-BT-BFO 铁电薄膜的介电性 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 退火温度对 NBT-BT-BFO 薄膜微观结构及性能影响 | 第45-51页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·不同退火温度下 0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜的表征 | 第45-50页 |
| ·0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜 XRD 结构分析 | 第45-46页 |
| ·0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜表面形貌 | 第46-47页 |
| ·0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜 P-V 及 I-V 特性 | 第47-48页 |
| ·0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜的介电性 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 LNO 对 NBT-BT-BFO 薄膜微结构及性能影响 | 第51-59页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·LNO 及 0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜的制备 | 第51-52页 |
| ·LNO 对 0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜结构及性能影响 | 第52-57页 |
| ·LNO 对 0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜 XRD 结构影响 | 第52-53页 |
| ·LNO 对 0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜表面形貌影响 | 第53-54页 |
| ·LNO 对 0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜 P-V 和 I-V 特性影响 | 第54-56页 |
| ·LNO 对 0.89NBT-0.06BT-0.05BFO 铁电薄膜介电性影响 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·论文总结 | 第59-60页 |
| ·工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间发表论文目录 | 第69页 |
