摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-8页 |
第一章 绪论 | 第8-10页 |
·光学薄膜的发展历史 | 第8-9页 |
·本课题的研究意义和研究内容 | 第9-10页 |
第二章 带通滤光片的基本理论 | 第10-15页 |
·带通滤光片的特性参数 | 第10页 |
·金属与介质膜合成的Fabry-Perot型滤光片 | 第10-12页 |
·全介质Fabry-Perot滤光片 | 第12-13页 |
·矩形多半波带通滤光片 | 第13-15页 |
第三章 薄膜的抗激光损伤及光学稳定性 | 第15-20页 |
·光学薄膜的抗激光损伤理论 | 第15-16页 |
·带通滤光片的光学稳定性 | 第16-20页 |
第四章 带通滤光片的设计 | 第20-26页 |
·选择薄膜材料的依据 | 第20-21页 |
·薄膜材料的选择 | 第21-22页 |
·滤光片结构形式的选择 | 第22-23页 |
·膜系设计 | 第23-26页 |
第五章 真空镀膜设备 | 第26-33页 |
·镀膜室配置 | 第26-27页 |
·抽气系统 | 第27-30页 |
·膜厚控制系统 | 第30-33页 |
第六章 带通滤光片的制备 | 第33-43页 |
·薄膜制备的工艺因素 | 第33-36页 |
·材料光学常数的确定 | 第36-37页 |
·滤光片膜系的修正 | 第37-38页 |
·滤光片的制备过程 | 第38-39页 |
·测试结果及分析 | 第39-40页 |
·薄膜制备工艺的改进 | 第40-41页 |
·工艺改进后的测试结果及分析 | 第41-43页 |
第七章 测试结果及误差分析 | 第43-45页 |
·测试结果 | 第43-44页 |
·误差分析 | 第44-45页 |
总结 | 第45-46页 |
致谢 | 第46-47页 |
参考文献 | 第47-49页 |
攻读硕士期间发表的论文 | 第49页 |