| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9-12页 |
| 插图清单 | 第12-14页 |
| 表格清单 | 第14-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-23页 |
| ·概述 | 第15页 |
| ·国内外探头的研究进展 | 第15-18页 |
| ·微纳米三坐标测量机的国内外研究现状 | 第18-21页 |
| ·课题来源、研究内容及意义 | 第21-23页 |
| ·课题来源 | 第21页 |
| ·研究意义及内容 | 第21-23页 |
| 第2章 微纳米三维接触测量式探头 | 第23-29页 |
| ·探头的原理 | 第23-26页 |
| ·基于自准直仪原理的二维角度传感器 | 第23-24页 |
| ·小型迈克尔逊干涉仪的原理 | 第24-26页 |
| ·悬浮机构原理 | 第26页 |
| ·探头的结构 | 第26-29页 |
| ·悬浮机构的结构 | 第27页 |
| ·基于二维角度传感器和迈克尔逊干涉仪原理的独立光路探头 | 第27-29页 |
| 第3章 微纳米三坐标测量机 | 第29-36页 |
| ·微纳米三坐标测量机系统结构 | 第29-32页 |
| ·坐标测量机的框架结构 | 第29-30页 |
| ·标尺系统 | 第30-31页 |
| ·驱动机构 | 第31页 |
| ·平衡部件 | 第31-32页 |
| ·结构特点 | 第32-34页 |
| ·控制流程 | 第34页 |
| ·隔振恒温系统 | 第34-36页 |
| 第4章 微纳米三维接触测量式探头的测试及标定 | 第36-49页 |
| ·探头稳定性测试 | 第36-38页 |
| ·探头的工作环境 | 第36页 |
| ·迈克尔逊干涉仪的稳定性测试 | 第36-37页 |
| ·激光器和四象限感测器的温度漂移实验 | 第37-38页 |
| ·探头量程和重复性测试 | 第38-40页 |
| ·探头的测力与各向同性实验 | 第40-44页 |
| ·测力计的开发与标定 | 第41-42页 |
| ·实验装置及操作 | 第42-43页 |
| ·测力结果 | 第43-44页 |
| ·三维空间坐标转换模型的建立 | 第44-45页 |
| ·标定试验与验证 | 第45-49页 |
| ·实验装置 | 第45-46页 |
| ·实验方法及测试数据 | 第46-47页 |
| ·数据处理及实验结果分析 | 第47-49页 |
| 第5章 微纳米三坐标测量机的系统测试及误差分析 | 第49-64页 |
| ·坐标机的稳定性测试 | 第49-52页 |
| ·激光干涉仪漂移实验 | 第49-51页 |
| ·各轴定点重复性测试 | 第51-52页 |
| ·量块平面度和台阶高的测试原理与实验 | 第52-55页 |
| ·量块的平面度测试原理与实验 | 第52-53页 |
| ·台阶高度测试原理与实验 | 第53-55页 |
| ·平凸透镜表面形貌测试 | 第55-57页 |
| ·测端等效直径的测量及误差分析 | 第57-62页 |
| ·测试原理 | 第57-58页 |
| ·探头内外尺寸的测试实验 | 第58-62页 |
| ·标准球的简单测量和分析 | 第62-64页 |
| 第6章 研究总结与工作展望 | 第64-66页 |
| ·研究总结 | 第64页 |
| ·工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第69-70页 |