| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| ·MEMS和光学MEMS的介绍 | 第7-9页 |
| ·微机电系统Micro-Electro-Mechanical Systems(MEMS) | 第7页 |
| ·微制造技术 | 第7-8页 |
| ·硅的机械特性 | 第8-9页 |
| ·光学MEMS(MOEMS) | 第9页 |
| ·基于MEMS技术的光学微镜 | 第9-10页 |
| ·本章小结 | 第10-11页 |
| 第2章 微镜的驱动方式 | 第11-20页 |
| ·微镜的静电驱动方式 | 第11-14页 |
| ·微镜的磁力驱动方式 | 第14-15页 |
| ·微镜的电热驱动方式 | 第15-17页 |
| ·微镜的压电驱动方式 | 第17-18页 |
| ·微镜的其他的驱动方式(磁致伸缩驱动) | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 大角度微镜的计算与模拟 | 第20-45页 |
| ·微镜的静电场驱动 | 第20-38页 |
| ·平板电容器的静电力以及能量 | 第20-22页 |
| ·基于平板执行器结构的微镜结构 | 第22-29页 |
| ·基于平板执行器结构的微镜结构A | 第22-25页 |
| ·基于平板执行器结构的微镜结构B | 第25-27页 |
| ·基于平板执行器结构的微镜结构C | 第27-29页 |
| ·微镜的梳状驱动结构 | 第29-38页 |
| ·微镜的磁力驱动模式 | 第38-41页 |
| ·梳状结构微镜、静电驱动结构微镜的工作应力和共振频率 | 第41-44页 |
| ·工作应力 | 第41-43页 |
| ·扭转共振频率 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 微镜的加工流程 | 第45-50页 |
| ·梳状结构微镜的加工流程 | 第45-46页 |
| ·磁力驱动微镜的加工流程 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 工作总结与展望 | 第50-52页 |
| ·工作总结 | 第50页 |
| ·课题展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |