| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-34页 |
| ·研究背景 | 第14-16页 |
| ·基于新颖纳米结构功能材料的高性能微型传感器应用 | 第15页 |
| ·声表面波驱动的新型高效微流体器件的开发应用 | 第15-16页 |
| ·氧化钨纳米功能材料研究进展 | 第16-21页 |
| ·氧化钨的基本性质 | 第16-18页 |
| ·氧化钨纳米晶制备及其应用 | 第18-21页 |
| ·氧化锌功能薄膜材料的研究现状 | 第21-24页 |
| ·氧化锌的基本性质 | 第21-22页 |
| ·氧化锌薄膜制备实验研究 | 第22-24页 |
| ·氧化锌基声表面波器件研究与应用 | 第24-28页 |
| ·氧化锌声表面波器件的特征 | 第24-25页 |
| ·氧化锌声表面波器件应用研究 | 第25-28页 |
| ·声表面波驱动的微流体应用研究进展 | 第28-31页 |
| ·选题目的和意义 | 第31-32页 |
| ·论文的研究内容 | 第32-34页 |
| 第二章 湿化学方法合成与表征氧化钨纳米晶 | 第34-59页 |
| ·分级结构氧化物纳米晶的水热合成 | 第34-36页 |
| ·分级结构氧化物纳米晶 | 第34-35页 |
| ·水热生长机制 | 第35-36页 |
| ·有机酸铵盐水热调控生长氧化钨纳米晶及其光学性质 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·实验与表征 | 第37-38页 |
| ·氧化钨纳米晶的微观结构和形貌 | 第38-43页 |
| ·不同形貌氧化钨纳米晶的形成机制 | 第43-44页 |
| ·氧化钨纳米晶体的光学性质 | 第44-47页 |
| ·苯甲酸铵辅助水热制备氧化钨纳米晶及其生长机制 | 第47-57页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·分级结构氧化钨纳米晶合成试验 | 第48-49页 |
| ·不同包覆剂浓度对氧化钨纳米晶形貌和结构的影响 | 第49-54页 |
| ·不同浓度的包覆剂对氧化钨纳米晶表面化合态影响 | 第54-55页 |
| ·分级氧化钨纳米晶微结构的形成机制 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第三章 氧化锌薄膜的制备及其光学性质研究 | 第59-79页 |
| ·磁控溅射技术 | 第59-61页 |
| ·磁控溅射技术的特点 | 第59页 |
| ·磁控溅射结晶机制和结构形貌变化模型 | 第59-61页 |
| ·氧化锌薄膜制备中的基底倾角效应及其对薄膜光学性质的影响 | 第61-72页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·反应型直流磁控溅射制备氧化锌薄膜 | 第62-63页 |
| ·基底倾角对薄膜微观结构和表面形貌的影响 | 第63-68页 |
| ·基底倾角对氧化锌薄膜的光学性质的影响 | 第68-72页 |
| ·氧化锌/超纳米晶金刚石多层膜的制备研究 | 第72-78页 |
| ·高利用效率靶溅射技术 | 第72-73页 |
| ·氧化锌/金刚石多层膜的制备研究 | 第73-74页 |
| ·高利用效率靶溅射沉积氧化锌/超纳米晶金刚石多层膜 | 第74-75页 |
| ·氧化锌/超纳米晶金刚石多层膜的结构与形貌分析 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第四章 氧化锌多层膜声表面波器件的性能优化 | 第79-93页 |
| ·声表面波器件的基本性能及其影响因素 | 第79-82页 |
| ·声表面波器件的基本性能 | 第79-80页 |
| ·影响器件性能提高的因素 | 第80-82页 |
| ·基于微流体应用的 ZnO/UNCD 声表面波器件的性能优化 | 第82-91页 |
| ·引言 | 第82-83页 |
| ·ZnO/UNCD 声表面波器件的加工与表征 | 第83-85页 |
| ·ZnO/UNCD 声表面波器件的声波性质 | 第85-88页 |
| ·ZnO/UNCD 声表面波器件的热稳定性和声波加热效应 | 第88-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 第五章 氧化锌基声表面波器件的紫外光和相对湿度探测 | 第93-109页 |
| ·声表面波传感器的基本特性 | 第93-94页 |
| ·ZnO/LiTaO_3乐甫模声表面波器件的紫外光探测应用 | 第94-104页 |
| ·引语 | 第94-95页 |
| ·ZnO/LiTaO_3乐甫模声表面波紫外传感器的加工与表征 | 第95-96页 |
| ·氧化锌薄膜的结构与形貌分析 | 第96-98页 |
| ·氧化锌光电导薄膜的发光性质分析 | 第98-99页 |
| ·乐甫模声表面波器件的紫外光敏感分析 | 第99-104页 |
| ·基于氧化钨纳米晶的乐甫模声表面波器件的相对湿度探测 | 第104-107页 |
| ·引言 | 第104-105页 |
| ·器件加工与气敏测试 | 第105-106页 |
| ·相对湿度探测分析 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107-109页 |
| 第六章 不同类型声表面波器件在微流体中的应用 | 第109-138页 |
| ·ZnO/UNCD 声表面波器件微流体应用 | 第109-119页 |
| ·引言 | 第109-110页 |
| ·ZnO/UNCD 声表面波器件表征及其微流体实验 | 第110页 |
| ·ZnO/UNCD 薄膜结构与结晶分析 | 第110-113页 |
| ·基于 ZnO/UNCD 声表面波器件产生的瑞利波流体驱动分析 | 第113-119页 |
| ·UNCD 夹层在氧化锌基声表面波器件微流体效率增强效应 | 第119-130页 |
| ·引语 | 第119-120页 |
| ·ZnO/UNCD 声表面波器件的表征与微流体测试 | 第120-121页 |
| ·ZnO/UNCD 声表面波器件的薄膜表征 | 第121-122页 |
| ·ZnO/UNCD 薄膜声表面波器件的微流体效率比较与分析 | 第122-130页 |
| ·水平剪切声表面波驱动下的液滴共混和雾化研究 | 第130-136页 |
| ·引语 | 第130-131页 |
| ·水平剪切声表面波器件表征和流体实验 | 第131页 |
| ·水平剪切声表面波驱动下液滴的共混和雾化分析 | 第131-136页 |
| ·本章小结 | 第136-138页 |
| 第七章 结论与展望 | 第138-142页 |
| ·全文总结 | 第138-140页 |
| ·论文创新点 | 第140-141页 |
| ·展望 | 第141-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
| 参考文献 | 第143-167页 |
| 攻博期间取得的研究成果 | 第167-168页 |
