| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·铁电材料 | 第10-12页 |
| ·铁电材料的分类 | 第12-15页 |
| ·铁电薄膜的发展 | 第15页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第15-17页 |
| ·铁电薄膜的制备技术 | 第17-19页 |
| ·铋层类钙钛矿结构铁电薄膜的研究现状 | 第19-21页 |
| ·课题研究对象的选择和课题研究的主要内容 | 第21-24页 |
| 第2章 实验方案设计和研究方法 | 第24-29页 |
| ·原料及有关仪器设备 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜 | 第25-27页 |
| ·薄膜表征方法 | 第27-29页 |
| 第3章 LaNiO_3(LNO)薄膜的特性研究 | 第29-38页 |
| ·前躯体溶液浓度对LNO薄膜的影响 | 第29-31页 |
| ·热分解理温度对LNO薄膜的影响 | 第31-32页 |
| ·退火温度对LNO薄膜的影响 | 第32-33页 |
| ·退火时间对LNO薄膜的影响 | 第33-34页 |
| ·厚度对LNO薄膜的影响 | 第34-36页 |
| ·LNO薄膜的SEM分析 | 第36-37页 |
| ·LNO(110)薄膜与Si(100)的晶格失配关系 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 LNO制备工艺对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi薄膜的影响 | 第38-46页 |
| ·LNO(110)薄膜与Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi薄膜的晶格失配关系 | 第38页 |
| ·LNO的浓度对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi薄膜的影响 | 第38-39页 |
| ·LNO的热分解温度对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi薄膜的影响 | 第39-40页 |
| ·LNO的退火温度对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi薄膜的影响 | 第40页 |
| ·LNO的厚度对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi薄膜的影响 | 第40-44页 |
| ·本章结论 | 第44-46页 |
| 第5章 热处理工艺对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi/LNO薄膜的影响 | 第46-58页 |
| ·热处理温度的初步确定 | 第46-47页 |
| ·匀胶速度对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi/LNO薄膜的影响 | 第47-48页 |
| ·热分解理温度对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi/LNO薄膜的影响 | 第48-50页 |
| ·退火温度对Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi/LNO薄膜的影响 | 第50-54页 |
| ·a择优取向的Ca_(0.4)Sr_(0.6)BTi/LNO薄膜热处理工艺优化及表征 | 第54-57页 |
| ·本章结论 | 第57-58页 |
| 第6章 结论 | 第58-60页 |
| ·主要成果 | 第58-59页 |
| ·进一步解决的问题 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 后记 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第67页 |
