电铸铜、镍金属微器件的工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·电铸镍金属微器件的制作 | 第9-11页 |
| ·微电铸铜制作微器件的发展 | 第11-17页 |
| ·微电铸铜的研究现状 | 第11-12页 |
| ·铜微器件制作的研究现状 | 第12-17页 |
| ·课题的研究内容 | 第17-19页 |
| 2 微注塑模具的制作工艺 | 第19-30页 |
| ·SU-8胶超声时效技术 | 第19-21页 |
| ·SU-8胶超声时效技术机理 | 第19-20页 |
| ·超声时效参数的选择 | 第20-21页 |
| ·微注塑模具制作流程 | 第21-29页 |
| ·基片前处理 | 第22-23页 |
| ·旋涂SU-8光刻胶 | 第23-24页 |
| ·前烘 | 第24-25页 |
| ·曝光 | 第25页 |
| ·后烘 | 第25-26页 |
| ·超声处理 | 第26-27页 |
| ·显影 | 第27页 |
| ·铸前处理 | 第27-28页 |
| ·电铸 | 第28页 |
| ·铸后处理 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 六层可动微结构制作 | 第30-39页 |
| ·实验材料及设备 | 第30页 |
| ·工艺流程 | 第30-36页 |
| ·刻蚀背面对准标记点 | 第30-32页 |
| ·正面六层结构制作 | 第32-36页 |
| ·制作过程中的工艺问题 | 第36-38页 |
| ·各层结构间的结合力问题 | 第36-37页 |
| ·多层结构胶膜制作困难 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 微电铸铜线圈的制作 | 第39-59页 |
| ·电铸液类型的选择及分析 | 第39-42页 |
| ·铜电铸液介绍 | 第39-40页 |
| ·酸性硫酸铜电铸液各组分作用分析 | 第40-42页 |
| ·操作条件对电铸的影响 | 第42页 |
| ·初步电铸实验 | 第42-49页 |
| ·简易实验装置的搭建 | 第42-43页 |
| ·实验结果 | 第43-45页 |
| ·问题与讨论 | 第45-49页 |
| ·微图形电铸实验 | 第49-56页 |
| ·蛇形沟道微图形胶膜的准备 | 第49-51页 |
| ·微图形电铸实验设备和条件 | 第51-52页 |
| ·实验结果与讨论 | 第52-56页 |
| ·铜线圈的制作 | 第56-58页 |
| ·铜线圈胶模的制备 | 第56-57页 |
| ·微电铸铜制作铜线圈 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
