| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| ·引言 | 第10-13页 |
| ·表面工程技术的意义及其分类 | 第10-11页 |
| ·表面工程技术在模具上的应用及其发展趋势 | 第11-13页 |
| ·磁控溅射 | 第13-17页 |
| ·磁控溅射基本原理及其发展 | 第13-15页 |
| ·非平衡磁控溅射离子镀 | 第15-17页 |
| ·表面涂层技术 | 第17-19页 |
| ·表面涂层的分类 | 第17-18页 |
| ·表面涂层的生长机理 | 第18-19页 |
| ·影响表面涂层生长和性能的一些因素 | 第19页 |
| ·氮化物硬质涂层的发展 | 第19-23页 |
| ·二元氮化物硬质涂层 | 第20-21页 |
| ·多元氮化物硬质涂层 | 第21-22页 |
| ·多元多层复合涂层系统 | 第22-23页 |
| ·本课题研究目的和内容 | 第23-25页 |
| 第2章 试样制备和实验方法 | 第25-35页 |
| ·试样制备 | 第25-26页 |
| ·镀层的制备及工艺 | 第26-29页 |
| ·涂层的微观结构检测 | 第29-30页 |
| ·涂层的形貌分析 | 第29-30页 |
| ·涂层的成分分析 | 第30页 |
| ·涂层的相结构分析 | 第30页 |
| ·涂层的力学性能表征 | 第30-33页 |
| ·涂层厚度测试 | 第30-31页 |
| ·涂层显微硬度测试 | 第31页 |
| ·涂层韧性测试 | 第31-32页 |
| ·涂层膜/基结合强度测试 | 第32页 |
| ·涂层摩擦磨损性能测试 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 CrNiTiAlN涂层形貌、成分及相结构分析 | 第35-44页 |
| ·Ni靶电流对CrNiTiAlN涂层形貌的影响 | 第35-37页 |
| ·Ni靶电流对CrNiTiAlN涂层成分的影响 | 第37-39页 |
| ·Ni靶电流对CrNiTiAlN涂层相结构的影响 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 CrNiTiAlN涂层力学性能分析 | 第44-60页 |
| ·Ni靶电流对涂层厚度的影响 | 第44-45页 |
| ·CrNiTiAlN涂层的显微硬度分析 | 第45-50页 |
| ·Ni靶电流对涂层显微硬度的影响 | 第45-47页 |
| ·载荷对涂层显微硬度的影响 | 第47-48页 |
| ·基体硬度对涂层显微硬度的影响 | 第48-50页 |
| ·CrNiTiAlN涂层的韧性分析 | 第50-53页 |
| ·Ni靶电流对涂层韧性的影响 | 第50-52页 |
| ·基体硬度对涂层韧性的影响 | 第52-53页 |
| ·CrNiTiAlN涂层的膜/基结合强度分析 | 第53-59页 |
| ·Ni靶电流对涂层与基体结合强度的影响 | 第54-57页 |
| ·基体硬度对涂层与基体结合强度的影响 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 Ni靶电流对涂层摩擦磨损性能的影响 | 第60-67页 |
| ·摩擦磨损分类 | 第60-61页 |
| ·Ni靶电流对CrNiTiAlN涂层摩擦性能的影响 | 第61-63页 |
| ·Ni靶电流对CrNiTiAlN涂层磨损性能的影响 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第74页 |
