PZT薄膜的制备、表征及图形化研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-25页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·PZT 薄膜的研究现状及制备方法 | 第8-20页 |
| ·PZT 薄膜的晶体结构和压电特性 | 第20-24页 |
| ·PZT 薄膜晶体结构特性 | 第20-22页 |
| ·PZT 薄膜的压电效应 | 第22-24页 |
| ·本文的研究意义及研究内容 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 2 PZT 薄膜的溶胶-凝胶制备方法 | 第25-41页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·溶胶-凝胶法制备原理 | 第25-27页 |
| ·实验所需原料和设备 | 第27-28页 |
| ·实验所用试剂 | 第27-28页 |
| ·实验所用设备 | 第28页 |
| ·PZT 前驱体溶液的配制 | 第28-34页 |
| ·PZT 溶液原料的选择 | 第28-31页 |
| ·原料配比计算 | 第31-32页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第32-34页 |
| ·PZT 薄膜的涂覆及热处理 | 第34-39页 |
| ·基片准备 | 第34-36页 |
| ·PZT 溶液的涂覆 | 第36页 |
| ·PZT 薄膜的热处理 | 第36-39页 |
| ·PZT 薄膜的极化 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 PZT 薄膜制备过程中的表征 | 第41-49页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·前驱体溶液的表征 | 第41-43页 |
| ·PZT 薄膜的表征 | 第43-48页 |
| ·薄膜晶向的 XRD 表征 | 第43-46页 |
| ·薄膜形貌的 SEM 表征 | 第46-47页 |
| ·薄膜厚度的表征 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 PZT 薄膜的图形化 | 第49-55页 |
| ·引言 | 第49-50页 |
| ·湿法腐蚀方法 | 第50-52页 |
| ·湿法腐蚀试验 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 PZT 薄膜压电性能测试微结构的制作 | 第55-69页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·d33测试样品的制作 | 第55-59页 |
| ·d33测量原理 | 第55-56页 |
| ·d33测试样片的制作 | 第56-59页 |
| ·d31测试样片的仿真与设计 | 第59-68页 |
| ·d31测试样片仿真模型的建立 | 第59-61页 |
| ·d31测试样片的静力学分析 | 第61-66页 |
| ·d31测试样品的动力学分析 | 第66-67页 |
| ·d31测试样片的制作流程 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 6 总结展望 | 第69-71页 |
| ·结论 | 第69页 |
| ·展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
