大面积矩形表面波等离子体源的数值模拟

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-17页
·表面波等离子体源的发展概况	第10-12页
·大面积表面波等离子体源的主要物理问题	第12-14页
·表面波等离子体源数值模拟的作用、研究现状	第14-15页
·本文的研究内容	第15-17页
2 任意天线激发的等离子体表面波传播	第17-41页
·等离子体表面波本征模理论	第17-20页
·数值模型及计算方法	第20-21页
·数值模拟结果	第21-40页
·本章小结	第40-41页
3 表面波等离子体源非自洽模型及数值模拟	第41-71页
·典型的大面积表面波等离子体源装置	第41-42页
·表面波等离子体源非自洽模型的意义	第42-43页
·表面波等离子体源电磁场的数值模拟	第43-57页
·等离子体参数的空间分布	第57-70页
·本章小结	第70-71页
4 表面波等离子体源的自洽模型及数值模拟	第71-94页
·准稳态时间步进模型	第71-73页
·计算方法	第73-74页
·数值模拟结果	第74-92页
·本章小结	第92-94页
5 微波功率共振吸收的粒子模拟	第94-107页
·粒子模拟简介	第94-96页
·微波功率共振吸收的一维粒子模拟	第96-103页
·微波功率共振吸收和表面波传播的二维粒子模拟	第103-106页
·本章小结	第106-107页
6 全文总结及展望	第107-110页
致谢	第110-111页
参考文献	第111-118页
附录 已发表或录用的文章	第118页