Al掺杂ZnO透明导电薄膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·透明导电氧化物薄膜基本特性及制备方法 | 第9-11页 |
| ·透明导电氧化物薄膜研究进展 | 第11-13页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的应用 | 第13-14页 |
| ·项目来源及本文的主要研究工作 | 第14-16页 |
| 2 AZO 透明导电薄膜的理论基础 | 第16-21页 |
| ·氧化锌的晶体结构及能带结构 | 第16-17页 |
| ·AZO 的薄膜的光电学性能 | 第17-19页 |
| ·AZO 薄膜的生长过程 | 第19-21页 |
| 3 AZO 薄膜的射频磁控溅射工艺制备及性能表征 | 第21-27页 |
| ·AZO 薄膜的射频磁控溅射制备工艺 | 第21-23页 |
| ·AZO 薄膜的性能测试及表征 | 第23-27页 |
| 4 不同制备条件对AZO 薄膜结构和性能的影响 | 第27-62页 |
| ·衬底材料及衬底温度对薄膜光电学性能的影响 | 第27-35页 |
| ·衬底材料及溅射功率对薄膜光电学性能的影响 | 第35-44页 |
| ·衬底材料及工作气压对薄膜光电学性能的影响 | 第44-51页 |
| ·退火工艺对薄膜光电学性能的影响 | 第51-54页 |
| ·氧气、氢气分压对薄膜光电学性能的影响 | 第54-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 AZO 薄膜应用于太阳电池前电极实验 | 第62-73页 |
| ·绒面AZO 薄膜的制备方法 | 第62-64页 |
| ·冰乙酸浓度对绒面AZO 薄膜的影响 | 第64-69页 |
| ·腐蚀时间对绒面AZO 薄膜的影响 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 6 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·总结 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 附录1 攻读硕士学位发表学术论文目录 | 第81页 |
