基于机械—化学方法的硅表面功能化结构制造技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·基于分子自组装的纳米制造技术 | 第9-12页 |
| ·分子自组装膜 | 第9-12页 |
| ·硅表面分子自组装 | 第12页 |
| ·机械及化学方法制备功能化纳米结构的研究现状 | 第12-15页 |
| ·AFM 纳米刻蚀 | 第13页 |
| ·导电AFM 纳米刻蚀术 | 第13-14页 |
| ·其它刻蚀术 | 第14-15页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 微加工系统的建立及微加工试验研究 | 第16-26页 |
| ·微加工系统的建立 | 第16-20页 |
| ·基于金刚石刀具切削自组装系统的建立 | 第16-18页 |
| ·三维精密微动工作台 | 第18页 |
| ·三维手动工作台 | 第18页 |
| ·微测力仪原理 | 第18-19页 |
| ·切削刀具的选用 | 第19-20页 |
| ·微结构加工实验研究 | 第20-24页 |
| ·基于金刚石刀具切削微结构的主要步骤 | 第20页 |
| ·对刀过程中力的变化 | 第20-21页 |
| ·切削力切削速度对微结构质量的影响 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 硅表面可控自组装技术研究 | 第26-46页 |
| ·可控自组装反应机理 | 第26-28页 |
| ·实验器材和设备 | 第28-29页 |
| ·实验器材 | 第28-29页 |
| ·实验设备 | 第29页 |
| ·实验方法 | 第29-30页 |
| ·硅片的预处理 | 第29-30页 |
| ·基于金刚石刀具切削的自组装膜的制备 | 第30页 |
| ·对自组装分子膜的检测与表征 | 第30-39页 |
| ·用原子力显微镜对自组装膜进行表征 | 第31-32页 |
| ·用扫描电子显微镜对自组装膜的检测 | 第32-33页 |
| ·X 射线光电子能谱对组装膜的检测 | 第33-36页 |
| ·红外光谱对组装膜的检测 | 第36-39页 |
| ·组装时间和切削速度对自组装膜质量的影响 | 第39-42页 |
| ·组装时间对自组装膜的影响 | 第39-41页 |
| ·刀具切削速度对成膜质量的影响 | 第41-42页 |
| ·用原子力显微镜检测组装膜的纳米摩擦性能 | 第42-45页 |
| ·原子力显微镜检测摩擦力的原理 | 第42-43页 |
| ·不同区域摩擦力的检测数据对比 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 在自组装膜上连接碳纳米管和其它纳米粒子 | 第46-52页 |
| ·在自组装膜上连接单臂碳纳米管 | 第46-50页 |
| ·碳纳米管通过芳烃重氮盐连接硅的原理 | 第47-48页 |
| ·实验方法 | 第48-49页 |
| ·用AFM 对硅片表面单臂碳纳米管的表征 | 第49-50页 |
| ·纳米粒子的自组装技术 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
