| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-36页 |
| ·课题背景及意义 | 第16-17页 |
| ·高速高精度定位系统的研究现状 | 第17-29页 |
| ·芯片封装作业系统概述 | 第17-20页 |
| ·机构形式的研究现状 | 第20-21页 |
| ·驱动方式的研究现状 | 第21-26页 |
| ·动态设计的研究现状 | 第26-27页 |
| ·动力学建模及控制方法的研究现状 | 第27-29页 |
| ·高速高精度位移检测技术综述 | 第29-33页 |
| ·光栅尺位移测量的发展概况 | 第30-31页 |
| ·光栅尺高速高精度位移测量的研究现状 | 第31-33页 |
| ·本文主要研究内容 | 第33-36页 |
| 第2章 宏/微驱动XY定位平台的设计研究 | 第36-68页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·宏/微驱动XY定位平台的总体设计 | 第36-38页 |
| ·直线音圈电机的工作原理及选型 | 第38-41页 |
| ·微动定位平台的建模与设计分析 | 第41-49页 |
| ·压电陶瓷致动器及其驱动器的选型 | 第42-43页 |
| ·双层弹性平行板机构的刚度模型 | 第43-45页 |
| ·微动定位平台的数学模型 | 第45-46页 |
| ·微动定位平台的有限元设计分析 | 第46-49页 |
| ·弹性解耦机构的建模与设计分析 | 第49-60页 |
| ·预紧弹簧的动态设计 | 第50-53页 |
| ·轴承的支撑结构设计 | 第53-54页 |
| ·弹性铰链的结构设计 | 第54-59页 |
| ·导向平板的刚度计算 | 第59-60页 |
| ·直线滚珠导轨副的刚度模型 | 第60-62页 |
| ·平台设计的仿真分析 | 第62-65页 |
| ·系统仿真的基本原理 | 第62-64页 |
| ·平台的仿真分析 | 第64-65页 |
| ·样机研制 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第3章 宏/微驱动XY定位平台的刚柔混合动力学建模 | 第68-77页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·X轴宏/微定位平台刚柔混合动力学建模 | 第68-70页 |
| ·Y轴宏/微定位平台刚柔混合动力学建模 | 第70-72页 |
| ·动力学方程的推导求解 | 第72-76页 |
| ·系统固有频率和主振型的求解 | 第72-74页 |
| ·系统阶越激励响应的求解 | 第74-76页 |
| ·宏/微定位平台固有频率计算 | 第76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第4章 双光栅跨尺度位移测量方法的研究 | 第77-105页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·莫尔条纹位移测量原理 | 第77-81页 |
| ·莫尔条纹扫描测量原理 | 第78页 |
| ·莫尔条纹的形成机理 | 第78-80页 |
| ·莫尔条纹信号的感应 | 第80页 |
| ·莫尔条纹信号的输出 | 第80-81页 |
| ·双光栅跨尺度位移测量方法 | 第81-86页 |
| ·光栅测量速度与分辨率的矛盾 | 第81-82页 |
| ·双光栅高速高精度位移测量原理 | 第82-84页 |
| ·双光栅高速高精度位移测量的设计准则 | 第84页 |
| ·双光栅高速高精度位移测量方法的实现 | 第84-86页 |
| ·双光栅信号切换与合成的误差分析与解决方法 | 第86-93页 |
| ·双光栅信号切换基准的误差分析与设计 | 第86-91页 |
| ·双光栅信号合成的时延误差分析与设计 | 第91-93页 |
| ·双光栅信号切换合成的电路设计与仿真分析 | 第93-101页 |
| ·FPGA芯片的软件开发流程 | 第93-94页 |
| ·FPGA功能模块电路设计 | 第94-100页 |
| ·双光栅信号切换合成的电路仿真分析 | 第100-101页 |
| ·实验研究 | 第101-104页 |
| ·双光栅信号处理电路板卡 | 第101-102页 |
| ·双光栅信号切换基准的精度实验 | 第102-103页 |
| ·双光栅跨尺度测量系统的精度实验 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第5章 宏/微驱动XY定位平台控制方法的研究 | 第105-126页 |
| ·引言 | 第105页 |
| ·直线音圈电机驱动的宏动系统数学建模 | 第105-110页 |
| ·直线音圈电机的磁路模型 | 第105-107页 |
| ·直线音圈电机的电气模型 | 第107-109页 |
| ·直线音圈电机的传递函数 | 第109-110页 |
| ·压电陶瓷驱动的微动系统数学建模 | 第110-112页 |
| ·压电陶瓷的工作机理与基本特性 | 第110-111页 |
| ·压电陶瓷的传递函数 | 第111-112页 |
| ·压电陶瓷驱动的微动系统传递函数 | 第112页 |
| ·宏动控制系统设计 | 第112-120页 |
| ·摩擦机理及数学模型 | 第113-115页 |
| ·自适应模糊摩擦补偿控制器的设计 | 第115-120页 |
| ·微动控制系统设计 | 第120-123页 |
| ·模糊自校正PID控制器的结构设计 | 第121-122页 |
| ·模糊自校正PID控制器的控制规则设计 | 第122-123页 |
| ·宏/微驱动控制策略的仿真分析 | 第123-125页 |
| ·本章小结 | 第125-126页 |
| 第6章 宏/微驱动XY定位系统实验研究与性能测试 | 第126-140页 |
| ·引言 | 第126页 |
| ·实验系统的设计 | 第126-129页 |
| ·实验系统组成 | 第126-127页 |
| ·控制系统结构 | 第127-129页 |
| ·系统实验研究与性能测试 | 第129-139页 |
| ·系统的固有频率测试 | 第130-133页 |
| ·宏动系统实验研究与性能测试 | 第133-136页 |
| ·微动系统实验研究与性能测试 | 第136-137页 |
| ·宏/微驱动系统实验研究与性能测试 | 第137-139页 |
| ·本章小结 | 第139-140页 |
| 结论 | 第140-142页 |
| 参考文献 | 第142-152页 |
| 附录 | 第152-159页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第159-162页 |
| 致谢 | 第162-163页 |
| 个人简历 | 第163页 |