非晶硅太阳能电池的透明导电层和本征非晶硅层的研究
| 论文摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 目录 | 第11-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-20页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·太阳能电池概述 | 第13-16页 |
| ·透明导电薄膜概况 | 第16-18页 |
| ·非晶硅薄膜概况 | 第18页 |
| ·本文的研究目的和内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 薄膜理论基础 | 第20-32页 |
| ·薄膜的结构和特性 | 第20-27页 |
| ·FTO薄膜 | 第20-23页 |
| ·非晶硅薄膜 | 第23-27页 |
| ·薄膜的生长机理 | 第27-31页 |
| ·FTO薄膜 | 第27-30页 |
| ·非晶硅薄膜 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 实验设计 | 第32-42页 |
| ·实验药品与靶材 | 第32页 |
| ·实验前处理 | 第32-33页 |
| ·实验设备与流程 | 第33-37页 |
| ·性能表征 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 超声喷雾工艺参数对薄膜性能的影响 | 第42-53页 |
| ·温度对薄膜性能的影响 | 第42-44页 |
| ·喷雾时间对薄膜性能的影响 | 第44-46页 |
| ·溶液组分对薄膜性能的影响 | 第46-50页 |
| ·简单喷雾装置的研究 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 磁控溅射工艺参数对薄膜结构和性能的影响 | 第53-63页 |
| ·溅射功率对薄膜结构和性能的影响 | 第53-57页 |
| ·不同靶材对薄膜结构和性能的影响 | 第57-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 硕士期间发表论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
