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金刚石薄膜电致发光特性研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-10页
第一章 导论第10-21页
 1.1 电致发光现象第10-11页
 1.2 电致发光研究及其应用进展第11-14页
  1.2.1 无机薄膜电致发光的研究及应用进展第11-13页
  1.2.2 有机薄膜电致发光的研究及其应用进展第13-14页
 1.3 金刚石薄膜电致发光的研究进展第14-18页
  1.3.1 金刚石蓝区发光现象的研究历史第15-16页
  1.3.2 金刚石薄膜电致发光存在的问题第16-17页
  1.3.3 金刚石薄膜蓝区电致发光研究工作的意义第17-18页
 1.4 本课题的主要研究内容及本文结构第18-21页
第二章 理论基础第21-45页
 2.1 引言第21页
 2.2 能带理论基础第21-26页
  2.2.1 晶体中的杂质和缺陷——定域能级的形成第21-23页
  2.2.2 定域能级的分类第23-24页
  2.2.3 电致发光产生的可能渠道第24-26页
 2.3 电致发光的激发机制第26-42页
  2.3.1 高场下的激发过程第26-41页
   2.3.1.1 碰撞离化第27-28页
   2.3.1.2 内场发射第28-30页
   2.3.1.3 电致发光的方式——复合发光和分立中心发光第30-40页
   2.3.1.4 高场区的形成及初始电子的来源第40-41页
  2.3.2 低场(注入式)电致发光第41-42页
 2.4 薄膜电致发光器件的常见结构第42-45页
第三章 金刚石薄膜的电致发光第45-55页
 3.1 引言第45-46页
 3.2 实验第46-50页
  3.2.1 金刚石薄膜的制备第46-47页
  3.2.2 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的机理概述第47-49页
  3.2.3 金刚石薄膜电致发光特性的测试方法第49-50页
 3.3 目前提出的几种金刚石薄膜蓝区电致发光的模型第50-52页
  3.3.1 “施主-受主(D-A)”对复合发光模型第51-52页
  3.3.2 位错缺陷模型第52页
  3.3.3 与位错缺陷相关的D-A复合模型第52页
  3.3.4 混合模型第52页
 3.4 提高金刚石薄膜蓝区电致发光强度的可能途径第52-55页
  3.4.1 在金刚石薄膜中掺入硼掺杂或同时掺入硼和氮两种杂质第53页
  3.4.2 在金刚石薄膜中掺入稀土元素(如Ce)离子发光中心第53-55页
第四章 无衬底硼掺杂金刚石薄膜电致发光的研究第55-69页
 4.1 引言第55页
 4.2 硼掺杂金刚石薄膜及其电致发光器件的制备第55-61页
  4.2.1 硼掺杂金刚石薄膜的制备及薄膜的物理结构特性第55-60页
  4.2.2 硼掺杂金刚石薄膜电致发光器件的制备第60-61页
 4.3 无衬底硼掺杂金刚石薄膜电致发光的实验结果和讨论第61-67页
  4.3.1 无衬底硼掺杂金刚石薄膜电致发光光谱特性研究第62-64页
  4.3.2 单层结构电致发光器件激发电压与发光强度间的依赖关系第64-66页
  4.3.3 硼掺杂量与金刚石薄膜电致发光强度的关系第66-67页
 4.4 小结第67-69页
第五章 硼-氮双掺杂金刚石薄膜电致发光的研究第69-86页
 5.1 引言第69-70页
 5.2 实验第70-85页
  5.2.1 硼-氮双掺杂金刚石薄膜电致发光器件的制备第70-77页
   5.2.1.1 本征金刚石薄膜的制备及结构特性测试第70-72页
   5.2.1.2 硼氮双掺杂金刚石薄膜的制备及结构特性测试第72-75页
   5.2.1.3 SiO_2绝缘层及透明导电电极(ITO)的制备第75-77页
  5.2.2 硼-氮双掺杂金刚石薄膜的实验结果和分析第77-85页
   5.2.2.1 硼-氮掺杂量对电致发光光谱及发光强度的影响第78-82页
   5.2.2.2 激发电压与发光强度间的依赖关系第82-84页
   5.2.2.3 双掺杂金刚石薄膜电致发光的强度及寿命第84-85页
 5.3 小结第85-86页
第六章 掺稀土Ce的金刚石薄膜蓝区电致发光与光致发光特性研究第86-108页
 6.1 引言第86-88页
 6.2 实验Ⅰ——夹层法制备的掺稀土铈离子金刚石薄膜电致发光研究第88-102页
  6.2.1 掺稀土铈的金刚石薄膜制备——夹层法第88-95页
   6.2.1.1 第一层本征金刚石薄膜的制备第88-90页
   6.2.1.2 CeF_3薄膜层的制备第90页
   6.2.1.3 第二层金刚石薄膜的制备及其薄膜结构特性和掺杂特性的研究第90-95页
  6.2.2 金刚石薄膜:Ce电致发光器件的结构和发光特性第95-102页
   6.2.2.1 金刚石薄膜:Ce电致发光器件的结构第95-96页
   6.2.2.2 金刚石薄膜:Ce电致发光器件的发光特性及结果解释第96-102页
 6.3 实验Ⅱ——注入法制备的掺稀土铈离子金刚石薄膜光致发光研究第102-106页
  6.3.1 掺稀土铈的金刚石薄膜制备——离子注入方法第102-103页
  6.3.2 稀土铈离子注入的金刚石薄膜光致发光光谱及发光强度研究第103-105页
  6.3.3 实验结果的解释第105-106页
 6.4 小结第106-108页
第七章 结论第108-110页
第一章 参考文献第110-112页
第二章 参考文献第112-113页
第三章 参考文献第113-114页
第四章 参考文献第114-115页
第五章 参考文献第115-116页
第六章 参考文献第116-118页
攻读博士期间发表的论文及成果第118-121页
致谢第121页

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