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InP基PIN光探测器+HBT单片集成光接收机前端的研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-11页
目录第11-14页
第一章 绪论第14-24页
   ·光集成技术概述第14-15页
   ·光电集成光接收器件概述第15-16页
   ·InP基PIN光探测器+HBT集成光接收机前端概述第16-19页
   ·论文的结构安排第19-22页
 参考文献第22-24页
第二章 分立器件的理论基础第24-43页
   ·光探测器的基本理论第24-29页
     ·光探测器的基本原理第24-25页
     ·光探测器的性能参数第25-26页
     ·光探测器高频特性的分析第26-29页
   ·HBT的基本理论第29-42页
     ·HBT的工作原理第29-31页
     ·HBT的电流组成第31-33页
     ·HBT器件的性能参数第33-34页
     ·HBT优化设计方案第34-38页
     ·在HBT器件中所运用的材料体系第38-39页
     ·HBT材料的主要生长技术第39-40页
     ·制各HBT器件常用工艺第40-42页
 参考文献第42-43页
第三章 分立器件的制备第43-58页
   ·PIN光探测器的制备第43-46页
     ·光探测器的外延结构第43-44页
     ·光探测器的制备工艺第44-45页
     ·光探测器的测试结果第45-46页
   ·HBT的制备第46-56页
     ·HBT的外延结构第46页
     ·HBT的制各工艺第46-51页
     ·HBT器件成品的测试结果第51-56页
 参考文献第56-58页
第四章 分立器件的精确测量第58-79页
   ·光探测器的光谱响应测量第58-65页
     ·光探测器的光谱响应第58-59页
     ·光探测器光谱响应的测量方法第59-61页
     ·利用高斯光束的性质求解光探测器的绝对量子效率第61-63页
     ·实验结果第63-65页
   ·光外差法测量光探测器高频响应第65-70页
     ·测试系统第65-66页
     ·校准方案第66-68页
     ·实验结果第68-70页
   ·扫频法测量光探测器高频响应第70-74页
     ·测试系统第70页
     ·校准方案第70-71页
     ·反射系数及探针散射参数的测量第71-73页
     ·实验结果第73-74页
   ·HBT的精确测试第74-77页
 参考文献第77-79页
第五章 分立器件的模型建立第79-106页
   ·光探测器的小信号等效电路模型的建立第79-85页
     ·光探测器的小信号等效电路模型的结构第79-81页
     ·自适应遗传算法第81-83页
     ·光探测器小信号等效电路模型参数提取过程第83-85页
   ·HBT模型的提取第85-104页
     ·HBT小信号等效电路模型的结构第85-86页
     ·直接提取参数法第86-96页
     ·采用遗传算法提取参数的方法第96-104页
 参考文献第104-106页
第六章 集成光接收机前端电路的分析第106-126页
   ·前置放大器的设计要求第106-107页
   ·HBT单管放大电路的三种组态第107-109页
   ·单片集成光前端的电路设计第109-115页
     ·前端电路的基本反馈形式第109-110页
     ·单管共射放大电路第110-111页
     ·单管共射加射极跟随器输出的放大电路第111-112页
     ·带有射极跟随器输出的跨阻放大电路第112-113页
     ·带有共基输入的跨阻放大电路第113-115页
   ·噪声电流对灵敏度的影响第115页
   ·集成光接收机前端电路的噪声分析第115-117页
   ·用电感峰化技术提高器件的频率特性第117-124页
     ·提高分立光探测器的频率响应第117-121页
     ·提高光接收机前端电路的频率响应第121-124页
 参考文献第124-126页
第七章 单片集成光接收机前端的制备第126-138页
   ·PIN-PD+HBT单片集成光前端的外延片结构第126-127页
   ·共享型外延片结构第127-128页
   ·PIN-PD+HBT单片集成光前端的版图第128-129页
   ·PIN-PD+HBT单片集成光前端的制备与测试第129-133页
   ·RCE-PD+HBT形式的单片集成光前端的初步尝试第133-137页
 参考文献第137-138页
附录1 常用半导体材料参数第138-139页
附录2 双端口12项误差模型及校准公式推导第139-144页
 1. 双端口12项误差模型第139-141页
 2. 误差项系数的确定第141-142页
 3. 误差校准第142-144页
附录3 散射参数与其它参数之间的转化第144-146页
致谢第146-147页
攻读博士学位期间发表的学术论文第147-148页

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