| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-25页 |
| ·课题背景 | 第9页 |
| ·纳米材料简介 | 第9-11页 |
| ·纳米材料的分类 | 第10页 |
| ·纳米材料的特殊性能 | 第10页 |
| ·纳米材料的研究内容 | 第10-11页 |
| ·纳米薄膜介绍 | 第11-17页 |
| ·纳米薄膜的分类 | 第11-12页 |
| ·纳米薄膜的制备方法 | 第12-15页 |
| ·磁控溅射法的基本原理及其特点 | 第15-17页 |
| ·SnO_2 气敏材料介绍 | 第17-21页 |
| ·SnO_2 气敏材料的特点 | 第18-19页 |
| ·SnO_2 材料的气敏机理 | 第19-20页 |
| ·SnO_2 气敏传感器的应用及展望 | 第20-21页 |
| ·材料设计概述 | 第21-23页 |
| ·材料设计发展概况 | 第21-22页 |
| ·材料设计中的计算机模拟 | 第22-23页 |
| ·本文的选题意义及研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 SnO_2材料的第一性原理研究 | 第25-52页 |
| ·相关理论介绍 | 第25-29页 |
| ·密度泛函理论 | 第25-26页 |
| ·局域密度近似（LDA） | 第26-27页 |
| ·广义梯度近似（GGA） | 第27-28页 |
| ·赝势方法 | 第28-29页 |
| ·SnO_2 体相结构的模拟计算 | 第29-32页 |
| ·SnO_2 中含不同浓度氧空位的第一性原理研究 | 第32-35页 |
| ·计算方法及模型 | 第32-33页 |
| ·计算结果与分析 | 第33-35页 |
| ·SnO_2 掺杂贵金属Pd 的第一性原理研究 | 第35-39页 |
| ·计算方法及模型 | 第36页 |
| ·计算结果与分析 | 第36-39页 |
| ·CO 吸附在SnO_2（110）面的第一性原理研究 | 第39-50页 |
| ·SnO_2（110）面模型的建立 | 第40-43页 |
| ·吸附模型的建立 | 第43-46页 |
| ·计算结果与分析 | 第46-50页 |
| ·本章小节 | 第50-52页 |
| 第3章 SnO_2薄膜的制备及结构分析 | 第52-71页 |
| ·实验材料 | 第52页 |
| ·主要实验设备 | 第52-54页 |
| ·主要分析测试仪器 | 第54-56页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第54-55页 |
| ·电子显微分析 | 第55-56页 |
| ·其他实验设备 | 第56页 |
| ·实验过程 | 第56-57页 |
| ·基片清洗 | 第56页 |
| ·薄膜制备 | 第56-57页 |
| ·薄膜的退火处理 | 第57页 |
| ·薄膜成分的分析 | 第57-61页 |
| ·EDS 测定薄膜成分 | 第57-58页 |
| ·不同氧氩比下得沉积速率实验及成分分析 | 第58-61页 |
| ·薄膜结构的分析 | 第61-68页 |
| ·溅射气压的影响 | 第61-63页 |
| ·不同衬底温度下的薄膜结构分析 | 第63-64页 |
| ·不同退火温度下的薄膜结构分析 | 第64-66页 |
| ·不同退火时间下的薄膜结构分析 | 第66-68页 |
| ·SnO_2 薄膜的TEM 分析 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第4章 微结构SnO_2气敏传感器的结构设计 | 第71-81页 |
| ·引言 | 第71-73页 |
| ·气敏传感器的概念 | 第71页 |
| ·气敏传感器的分类 | 第71-72页 |
| ·半导体气敏传感器的工作原理 | 第72-73页 |
| ·SnO_2 气敏传感器介绍 | 第73页 |
| ·微结构SnO_2 气敏传感器的设计思路 | 第73-79页 |
| ·微结构气敏传感器的热设计 | 第74-75页 |
| ·微结构SnO_2 气敏传感器的结构设计 | 第75-76页 |
| ·微结构气敏传感器的工艺设计过程 | 第76-79页 |
| ·结构设计中的相关工艺 | 第79-80页 |
| ·制备绝缘层 | 第79页 |
| ·光刻过程 | 第79-80页 |
| ·各向异性腐蚀 | 第80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 结论 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 作者简介 | 第89页 |