| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-32页 |
| ·离子注入技术及发展概况 | 第10-21页 |
| ·离子注入原理与物理基础 | 第10-14页 |
| ·离子注入技术的特点 | 第14-15页 |
| ·离子注入设备 | 第15-18页 |
| ·离子注入技术在表面改性中的应用 | 第18-21页 |
| ·单晶α-Al_2O_3的晶体结构及性质 | 第21-22页 |
| ·高能离子注入α-Al_2O_3的研究现状及进展 | 第22-26页 |
| ·离子注入α-Al_2O_3的微结构 | 第22-24页 |
| ·离子注入α-Al_2O_3的退火特性 | 第24-26页 |
| ·离子注入制备埋层硅化物的研究现状及进展 | 第26-29页 |
| ·本文的研究目的、意义和研究内容 | 第29-32页 |
| ·研究目的和意义 | 第29页 |
| ·研究内容 | 第29-32页 |
| 2 实验设备及材料的制备 | 第32-42页 |
| ·实验设备 | 第32-40页 |
| ·离子注入设备 | 第32-33页 |
| ·透射电子显微镜 | 第33-40页 |
| ·材料的制备 | 第40-42页 |
| ·制备离子注入样品 | 第40页 |
| ·制备透射电镜样品 | 第40-42页 |
| 3 单晶α-Al_2O_3中注入Fe原始注入态的微结构 | 第42-50页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·实验结果与讨论 | 第42-48页 |
| ·低注量(1×10~(16)inos/cm~2)原始注入态的微结构 | 第42-46页 |
| ·高注量(1×10~(17)ions/cm~2)原始注入态的微结构 | 第46-48页 |
| ·结论 | 第48-50页 |
| 4 单晶α-Al_2O_3中注入Fe还原气氛下退火态的微结构 | 第50-72页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验结果与讨论 | 第50-69页 |
| ·低注量(1×10~(16)ions/cm~2)还原气氛下退火态的微结构 | 第50-54页 |
| ·高注量(1×10~(17)ions/cm~2)还原气氛下退火态的微结构 | 第54-66页 |
| ·α-Fe析出相与α-Al_2O_3基体取向关系的倒空间近重位点阵分析 | 第66-69页 |
| ·结论 | 第69-72页 |
| 5 单晶α-Al_2O_3中注入Fe氧化气氛下退火态的微结构 | 第72-92页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·实验结果与讨论 | 第72-90页 |
| ·α-Fe_2O_3析出相的微结构研究 | 第72-82页 |
| ·尖晶石(spinel)析出相的微结构研究 | 第82-90页 |
| ·结论 | 第90-92页 |
| 6 单晶硅中注入Co原始注入态和真空退火态的微结构 | 第92-102页 |
| ·引言 | 第92页 |
| ·实验结果与讨论 | 第92-99页 |
| ·低注量(1×10~(16)ions/cm~2)和高注量(1×10~(17)ions/cm~2)原始注入态的微结构 | 第92-97页 |
| ·低注量(1×10~(16)ions/cm~2)和高注量(1×10~(17)ions/cm~2)真空退火态的微结构 | 第97-99页 |
| ·结论 | 第99-102页 |
| 结论 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-111页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第111-112页 |
| 创新点摘要 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
