阳极键合用微晶玻璃的制备及键合影响因素研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-29页 |
| ·微晶玻璃概述 | 第11-19页 |
| ·微晶玻璃的特点 | 第11-12页 |
| ·微晶玻璃的分类 | 第12-15页 |
| ·微晶玻璃的显微结构 | 第15-18页 |
| ·微晶玻璃的制备 | 第18页 |
| ·微晶玻璃的应用 | 第18-19页 |
| ·阳极键合概述 | 第19-27页 |
| ·键合技术的种类 | 第19-21页 |
| ·阳极键合的原理 | 第21-22页 |
| ·阳极键合材料的发展 | 第22-24页 |
| ·提高键合强度的方法 | 第24-25页 |
| ·键合强度评价方法 | 第25-27页 |
| ·课题的目的和意义 | 第27-29页 |
| 第二章 实验 | 第29-35页 |
| ·实验流程图 | 第29-30页 |
| ·微晶玻璃的制备 | 第30-31页 |
| ·基础玻璃的制备 | 第30-31页 |
| ·实验使用的主要试剂 | 第30页 |
| ·基础玻璃的熔制 | 第30-31页 |
| ·热处理方法 | 第31页 |
| ·微晶玻璃微观结构与性能测试 | 第31-35页 |
| ·X-射线衍射分析 | 第31-32页 |
| ·扫描电子显微镜分析 | 第32页 |
| ·微晶玻璃热膨胀系数测定 | 第32页 |
| ·微晶玻璃抗折强度测定 | 第32-33页 |
| ·微晶玻璃耐化学腐蚀性的测定 | 第33页 |
| ·差热分析 | 第33页 |
| ·原子力显微镜测试 | 第33-35页 |
| 第三章 阳极键合用微晶玻璃研究 | 第35-55页 |
| ·玻璃原始组成设计 | 第35-42页 |
| ·玻璃组成设计的依据 | 第35-36页 |
| ·原始玻璃成分设计 | 第36-37页 |
| ·热处理制度设计 | 第37-39页 |
| ·差热分析(DTA)测试 | 第37-39页 |
| ·热处理制度的确定 | 第39页 |
| ·结构与性能测试 | 第39-42页 |
| ·X-射线衍射(XRD)测试 | 第39-40页 |
| ·热膨胀系数测定 | 第40-41页 |
| ·抗折强度测定 | 第41-42页 |
| ·热处理制度对LZS系统微晶玻璃结构及性能的影响 | 第42-54页 |
| ·热处理制度设计 | 第42-43页 |
| ·原始玻璃成分 | 第42页 |
| ·热处理制度确定 | 第42-43页 |
| ·热处理工艺制度对微晶玻璃结构的影响 | 第43-49页 |
| ·X射线衍射测试分析 | 第43-45页 |
| ·扫描电子显微镜微观结构分析 | 第45-49页 |
| ·热处理制度对微晶玻璃性能的影响 | 第49-54页 |
| ·热处理制度对热膨胀系数影响 | 第49-51页 |
| ·抗折强度测试 | 第51-52页 |
| ·化学稳定性能测试 | 第52-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 金属与微晶玻璃阳极键合影响因素研究 | 第55-71页 |
| ·阳极键合实验装置的设计 | 第55-56页 |
| ·阳极键合样品的制备 | 第56-57页 |
| ·阳极键合因素的研究 | 第57-67页 |
| ·电压对阳极键合实验的影响 | 第57-59页 |
| ·击穿电压与微晶玻璃样品面积的关系研究 | 第59-61页 |
| ·温度的对阳极键合实验的影响 | 第61-65页 |
| ·键合时间对阳极键合实验的影响 | 第65-66页 |
| ·金属与微晶玻璃阳极键合成功实验分析 | 第66-67页 |
| ·现阶段存在问题以及改善方法研究 | 第67-70页 |
| ·选择合适的键合电压 | 第67页 |
| ·提高键合温度 | 第67-68页 |
| ·适当改变键合时所采用电极的形状 | 第68页 |
| ·改善键合样品的表面的状态 | 第68页 |
| ·改善样品的键合环境 | 第68-70页 |
| 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录 | 第76页 |
