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直流磁控溅射制备第二代高温超导带材CYC氧化物过渡层

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 概述第9-20页
   ·高温超导带材及其应用第9-10页
   ·高温超导带材的发展第10-12页
     ·第一代铋系高温超导带材第10-11页
     ·第二代钇系高温超导带材第11-12页
   ·第二代钇系高温超导带材的制备第12-16页
     ·金属基带的选择第13页
     ·过渡层的选择与制备第13-15页
       ·过渡层材料的选择第13-15页
       ·过渡层薄膜的制备第15页
     ·超导层的制备第15-16页
   ·过渡层研究现状第16-18页
   ·论文的选题依据和研究方案第18-20页
第二章 实验方法和原理第20-27页
   ·直流磁控溅射原理第20-21页
   ·实验装置第21-23页
     ·实验采用的靶材第22页
     ·实验采用的基片第22页
     ·实验采用的气体第22-23页
   ·薄膜的分析表征方法第23-27页
     ·薄膜微观结构分析第24-25页
     ·薄膜表面形貌分析第25-27页
       ·原子力显微镜原理第25页
       ·扫描电子显微镜原理第25-27页
第三章 CeO_2种子层薄膜生长工艺研究第27-49页
   ·IPAT 技术制备CeO_2 种子层薄膜第27-36页
     ·IPAT 技术工艺第27-28页
     ·退火温度第28-32页
     ·退火时间第32-34页
     ·水分压第34-36页
     ·小结第36页
   ·反应溅射法制备CeO_2 种子层薄膜第36-48页
     ·反应溅射法工艺第37页
     ·沉积温度第37-41页
     ·水分压第41-43页
     ·溅射功率第43-45页
     ·工艺一致性和可重复性第45-48页
     ·小结第48页
   ·两种工艺方法比较第48-49页
第四章 YSZ 阻挡层薄膜生长工艺研究第49-62页
   ·反应溅射特性第49-52页
   ·种子层薄膜的影响第52-55页
   ·沉积温度第55-57页
   ·水分压第57-59页
   ·阻挡层制备对种子层薄膜的影响第59-61页
   ·小结第61-62页
第五章 YBCO/CeO_2/YSZ/CeO_2/NiW 研究第62-66页
   ·CeO_2 模板层薄膜的制备第62-63页
   ·CeO_2/YSZ/CeO_2/NiW 成分深度分析第63-64页
   ·YBCO/CeO_2/YSZ/CeO_2/NiW 结构分析第64-65页
   ·小结第65-66页
结论第66-67页
参考文献第67-72页
致谢第72-73页
读硕期间取得的成果第73-74页

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