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高精度光杠杆式微加速度计的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-6页
目录第6-9页
第一章 惯性导航系统和加速度计概述第9-27页
   ·惯性导航系统第9-13页
     ·导航与导航系统第9-10页
     ·惯性导航系统第10-13页
   ·加速度计第13-16页
     ·加速度计的测量原理第13-14页
     ·加速度计的主要参数第14-15页
     ·加速度计的分类第15页
     ·加速度计的发展第15-16页
   ·微机械加速度计第16-23页
     ·微机械加速度计的发展第16-17页
     ·微加速度计的制造工艺第17-18页
     ·典型的微机械加速度计第18-23页
     ·我国的微机械加速度计第23页
   ·本文主要研究内容第23-27页
     ·课题背景第23-24页
     ·设计目标与主要工作第24页
     ·主要内容和创新之处第24-27页
第二章 加速度计的设计理论第27-39页
   ·加速计的力学模型第27-28页
   ·微加速度计的设计理论第28-32页
   ·加速度计输出信号的信息组成第32-35页
     ·简化的力学模型和动力学方程第32-33页
     ·加速度计激励信号~(a_f~(t))分析第33页
     ·加速度计输出信号的解析表达式第33-34页
     ·加速度计输出信号所包含的加速度信息第34-35页
   ·微加速度计的噪声与误差分析第35-36页
     ·机械结构噪声(布朗Brownain噪声)第35页
     ·集成运算放大器噪声第35-36页
     ·温度误差第36页
   ·微加速度计的主要性能指标以及测试方法第36-37页
   ·本章小结第37-39页
第三章 光杠杆式高精度式微光学加速计的结构第39-65页
   ·新型光学式微加速度计测量模型系统第39-47页
     ·微加速度计测量模型系统的基本组成第39-41页
     ·系统主要器件的分析第41-47页
   ·创新的光杠杆微位移测量原理第47-56页
     ·传统光杠杆测量位移的原理第47-48页
     ·创新的光杠杆测量位移原理第48-50页
     ·光杠杆位移测量系统与参数分析第50-56页
   ·PSD信号检测装置第56-59页
     ·PSD器件原理第56-58页
     ·PSD电路图第58-59页
     ·PSD检测系统的电路分析第59页
   ·平面集成自由空间光杠杆式微加速度计的设计第59-62页
   ·本章小结第62-65页
第四章 光杠杆式高精度测量系统及其测试实验第65-87页
   ·测量系统与测试实验概述第65-66页
   ·光杠杆式微位移测量系统及实验第66-73页
     ·光杠杆式微位移测量系统组成第66-67页
     ·光杠杆式微位移测量系统工作原理与实验内容第67-69页
     ·微位移测量系统的部分器件分析第69-73页
   ·光杠杆式微加速度计模型系统组成第73-81页
     ·计算机光路模拟实验第73-80页
     ·微加速度计模型系统组成第80-81页
   ·光杠杆式微加速度计模型系统的测试实验第81-85页
     ·静态灵敏度和测量范围第81-83页
     ·微加速度计模型系统的动态测试实验第83-85页
   ·本章小结第85-87页
第五章 光杠杆式高精度模型系统的实验结果与性能分析第87-109页
   ·试验结果第87-103页
     ·光杠杆式高精度微位移测量系统第87-92页
     ·光杠杆式高精良微加速受计模型系统的静态测试第92-100页
     ·光杠杆式高精度微加速度计模型系统的动态测试第100-103页
   ·光杠杆式高精度模型系统的性能分析第103-106页
     ·模型系统的优点第103页
     ·模型系统的不足第103-105页
     ·测量误差分析第105-106页
   ·本章小结第106-109页
第六章 总结和展望第109-113页
   ·总结第109-110页
   ·展望第110-113页
参考文献第113-123页
附录 博士在读期间发表论文第123-125页
致谢第125页

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