| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·薄膜太阳电池 | 第9-12页 |
| ·薄膜太阳能电池的基础 | 第9-10页 |
| ·薄膜太阳电池的发展及现状 | 第10-12页 |
| ·透明导电膜 | 第12-15页 |
| ·透明导电膜的种类及特性 | 第12-15页 |
| ·镓掺杂氧化锌薄膜（ZGO） | 第15-18页 |
| ·ZGO 薄膜的材料结构 | 第15-17页 |
| ·ZGO 薄膜的电学性质 | 第17-18页 |
| ·ZGO薄膜的光学性质 | 第18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验设备与性能表征 | 第19-27页 |
| ·实验设备 | 第19-22页 |
| ·等离子增强化学气相沉积（RF - PECVD 法） | 第20-21页 |
| ·孪生对靶直流磁控溅射 | 第21-22页 |
| ·薄膜性能的表征 | 第22-27页 |
| ·薄膜厚度 | 第22页 |
| ·薄膜透过率 | 第22-23页 |
| ·霍尔迁移率、载流子浓度和电阻率 | 第23-24页 |
| ·X - ray 衍射（XRD ） | 第24页 |
| ·扫描电镜（SEM） | 第24-25页 |
| ·薄膜太阳电池光电转换效率 | 第25-27页 |
| 第三章 薄膜的制备 | 第27-34页 |
| ·ZGO 薄膜的制备 | 第27-31页 |
| ·正交设计试验 | 第27-29页 |
| ·ZGO薄膜的沉积机理 | 第29-30页 |
| ·实验材料及步骤 | 第30-31页 |
| ·非晶硅薄膜太阳电池的制备 | 第31-34页 |
| ·非晶硅薄膜太阳电池的沉积机理 | 第31-33页 |
| ·实验条件及步骤 | 第33-34页 |
| 第四章 ZGO 薄膜性能的研究 | 第34-54页 |
| ·工艺参数对ZGO 膜性能的影响 | 第34-43页 |
| ·溅射厚度对ZGO 薄膜性能的影响 | 第34-37页 |
| ·工作电流对ZGO 薄膜性能的影响 | 第37-40页 |
| ·工作压强对ZGO 薄膜性能的影响 | 第40-43页 |
| ·热处理对ZGO 薄膜性能的影响 | 第43-49页 |
| ·退火机理 | 第43-45页 |
| ·不同退火氛围对其性能的影响 | 第45-46页 |
| ·不同退火温度对其性能的影响 | 第46-49页 |
| ·ZGO 薄膜在非晶硅薄膜电池中的应用 | 第49-54页 |
| ·热处理的ZGO 薄膜在非晶硅电池中的应用 | 第49-50页 |
| ·不同厚度的ZGO 薄膜对柔性非晶硅薄膜电池性能的影响 | 第50-54页 |
| 第五章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |