HF酸刻蚀熔石英材料研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章 绪论	第10-16页
·课题背景	第10-12页
·国内外研究进展	第12-14页
·该课题工作的意义	第14页
·该课题工作的主要内容	第14-16页
第二章 激光诱导熔石英材料损伤机理	第16-29页
·引言	第16页
·本征损伤	第16-19页
·缺陷诱导损伤	第19-25页
·吸收性杂质	第19-21页
·化学结构缺陷	第21-23页
·亚表面缺陷	第23-25页
·多脉冲辐照下激光损伤机理	第25-28页
·小结	第28-29页
第三章 HF 酸刻蚀对熔石英材料损伤阈值的影响	第29-58页
·HF 酸刻蚀机理	第30-31页
·样品制备与损伤测试	第31-33页
·材料特性表征	第33-56页
·刻蚀深度与表面粗糙度	第33-36页
·表面杂质含量	第36-40页
·纳米压痕测量	第40-48页
·亚表面缺陷	第48-54页
·红外光谱分析	第54-56页
·小结	第56-58页
第四章 抛光工艺对损伤阈值的影响	第58-64页
·样品制备与损伤测试	第58-60页
·光热透镜测试	第60-62页
·小结	第62-64页
第五章 总结与展望	第64-66页
致谢	第66-67页
参考文献	第67-77页
攻读硕士期间取得的研究成果	第77-78页