利用二元光学技术实现小焦斑、长焦深的设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·二元光学概述 | 第8-9页 |
| ·二元光学技术的发展 | 第9-11页 |
| ·设计理论上的发展 | 第9-10页 |
| ·制作工艺方面的发展 | 第10-11页 |
| ·二元光学技术的应用及其国内外的研究现状 | 第11-14页 |
| ·二元光学技术的应用 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·本论文的研究意义 | 第14页 |
| ·本论文的主要内容 | 第14-16页 |
| 2 衍射相位函数的设计原理和设计方法 | 第16-31页 |
| ·概述 | 第16页 |
| ·标量衍射理论 | 第16-21页 |
| ·设计准则和方法 | 第21-30页 |
| ·GS算法 | 第21-22页 |
| ·杨-顾算法及其改进 | 第22-23页 |
| ·模拟退火算法 | 第23-26页 |
| ·遗传算法 | 第26-28页 |
| ·共轭梯度算法 | 第28-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 3 小焦斑、长焦深光学系统的设计历程 | 第31-43页 |
| ·经典光学中的焦深与焦斑 | 第31页 |
| ·实现长焦深的早期光学方法 | 第31-34页 |
| ·改变数值孔径 | 第32页 |
| ·相移掩模(PSM) | 第32页 |
| ·圆锥透镜(axicon) | 第32-34页 |
| ·实现长焦深的新兴方法 | 第34-41页 |
| ·无衍射光束 | 第34-37页 |
| ·能量守恒法及其改进 | 第37-39页 |
| ·折衍混合法 | 第39-41页 |
| ·现状概括及分析 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 4 小焦斑、长焦深的相位函数设计 | 第43-57页 |
| ·光的衍射—菲涅尔衍射 | 第43-45页 |
| ·串行迭代算法 | 第45-48页 |
| ·GS算法 | 第45-46页 |
| ·串行迭代算法 | 第46-48页 |
| ·相位函数的获取和验证 | 第48-56页 |
| ·三个输出面的验证 | 第50-53页 |
| ·五个输出面的验证 | 第53-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 5 利用二元光学技术实现小焦斑、长焦深的设计 | 第57-64页 |
| ·相位函数的拟合 | 第57-58页 |
| ·面形模拟原理 | 第58-59页 |
| ·环带径向坐标和环带数 | 第58-59页 |
| ·环带的面形方程 | 第59页 |
| ·ZEMAX实现及分析 | 第59-62页 |
| ·性能验证分析 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
