| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 引言 | 第10-30页 |
| ·射频感应耦合等离子体的概况 | 第10-18页 |
| ·高频放电的效率 | 第11-13页 |
| ·射频等离子体的匹配网络 | 第13-14页 |
| ·射频等离子体的自偏压 | 第14-16页 |
| ·射频感应耦合等离子体的天线 | 第16-18页 |
| ·探针的简单介绍 | 第18-19页 |
| ·I-V特性曲线的分析 | 第19-23页 |
| ·曲线特性分析 | 第19-22页 |
| ·Laframboise理论 | 第22-23页 |
| ·发射光谱简介 | 第23-30页 |
| ·原子发射光谱分析简史 | 第23-24页 |
| ·发射光谱概述 | 第24-25页 |
| ·光谱谱线的分析 | 第25-28页 |
| ·发射光谱的光谱分析 | 第28-30页 |
| 2 实验装置及诊断系统 | 第30-35页 |
| ·实验装置 | 第30-31页 |
| ·诊断系统 | 第31-35页 |
| ·探针的诊断系统 | 第31-34页 |
| ·光谱的诊断系统 | 第34-35页 |
| 3 Langmuir探针和发射光谱对感应耦合等离子体的诊断 | 第35-46页 |
| ·轴向等离子体参数的测量 | 第35-41页 |
| ·Langmuir探针的测量结果 | 第35-38页 |
| ·发射光谱的测量结果 | 第38-41页 |
| ·Langmuir探针对径向等离子体参数的测量 | 第41-46页 |
| ·线圈之间的径向测量的结果 | 第41-44页 |
| ·线圈处的径向的测量结果 | 第44-46页 |
| 4 会切场对等离子体参数的影响 | 第46-60页 |
| ·无会切场时的测量结果 | 第46-49页 |
| ·加会切场时的测量结果 | 第49-60页 |
| ·会切场的分布 | 第49-51页 |
| ·加会切场后的测量结果 | 第51-60页 |
| 5 展望 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第68页 |