| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·燃料电池 | 第10页 |
| ·固体氧化物燃料电池(SOFC) | 第10-12页 |
| ·SOFC的关键材料 | 第12-13页 |
| ·SOFC电解质材料 | 第13-16页 |
| ·ZrO_2基电解质 | 第13-14页 |
| ·CeO_2基电解质 | 第14-16页 |
| ·CeO_2基电解质的制备 | 第16页 |
| ·反应射频磁控溅射 | 第16-19页 |
| ·本论文的选题 | 第19-20页 |
| 2 薄膜制备及分析方法 | 第20-27页 |
| ·薄膜制备 | 第20-24页 |
| ·实验设备 | 第20-21页 |
| ·靶的制备 | 第21-23页 |
| ·基片处理 | 第23页 |
| ·溅射镀膜 | 第23-24页 |
| ·薄膜分析方法 | 第24-27页 |
| ·台阶仪 | 第24页 |
| ·电子探针显微分析(EPMA) | 第24-25页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第25-26页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第26-27页 |
| 3 基片温度对GDC电解质薄膜物相、结构及生长形貌的影响 | 第27-38页 |
| ·基片温度对薄膜成分的影响 | 第27-28页 |
| ·基片温度对薄膜物相结构的影响 | 第28-31页 |
| ·基片温度对薄膜沉积速率的影响 | 第31-32页 |
| ·基片温度对薄膜生长形貌的影响 | 第32-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 氧分压对GDC薄膜物相、结构及生长形貌的影响 | 第38-46页 |
| ·成分分析 | 第39页 |
| ·薄膜物相结构分析 | 第39-41页 |
| ·沉积速率 | 第41-42页 |
| ·微观形貌分析 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第52页 |