精密运动台主动减振与重力补偿技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1. 绪论 | 第11-37页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·课题来源与研究背景 | 第11-13页 |
| ·光刻机精密运动台的减振技术 | 第13-17页 |
| ·主动减振与重力补偿技术现状 | 第17-33页 |
| ·本文的研究目标和主要研究内容 | 第33-34页 |
| ·论文的主要章节及内容 | 第34-37页 |
| 2. 主动减振器结构参数分析 | 第37-48页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·主动减振系统的应用与动力学结构 | 第37-39页 |
| ·减振器的结构分析 | 第39-40页 |
| ·减振器机构物理建模 | 第40-42页 |
| ·摆机构参数优化 | 第42-45页 |
| ·实验验证 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 3. 主动减振系统反馈控制参数自整定 | 第48-61页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·主动减振器系统建模及控制策略 | 第48-52页 |
| ·参数自整定算法 | 第52-56页 |
| ·参数自整定流程 | 第56页 |
| ·自整定控制器性能仿真 | 第56-58页 |
| ·基板运动台主动减振器性能测试 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 4. 重力补偿减振器建模与设计 | 第61-81页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·基板台垂向重力补偿减振器问题描述 | 第61-62页 |
| ·重力补偿减振器技术方案 | 第62-75页 |
| ·方案对比分析 | 第75-76页 |
| ·重力补偿减振器刚度阻尼试验 | 第76-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 5. 重力补偿气动建模与控制 | 第81-96页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·单轴垂向运动实验装置原理 | 第81-82页 |
| ·重力补偿减振器结构建模 | 第82-86页 |
| ·音圈电机驱动建模 | 第86页 |
| ·单轴运动模型 | 第86-87页 |
| ·垂向控制器设计 | 第87-92页 |
| ·实验验证 | 第92-94页 |
| ·本章小结 | 第94-96页 |
| 6. 垂向局部减振动力学建模与实验 | 第96-110页 |
| ·引言 | 第96页 |
| ·基板运动台垂向驱动结构原理 | 第96-97页 |
| ·微动台动力学建模 | 第97-103页 |
| ·模态分析与仿真 | 第103-106页 |
| ·结构模态测试 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 7. 垂向运动控制器设计 | 第110-120页 |
| ·引言 | 第110页 |
| ·垂向运动解耦矩阵 | 第110-114页 |
| ·垂向控制策略 | 第114-116页 |
| ·垂向运动性能仿真 | 第116-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 8. 基板运动台减振与控制技术实验验证 | 第120-135页 |
| ·引言 | 第120页 |
| ·水平向全局减振性能测试 | 第120-127页 |
| ·基板运动台垂向定位测试 | 第127-134页 |
| ·本章小结 | 第134-135页 |
| 9. 结论与展望 | 第135-139页 |
| ·全文总结 | 第135-137页 |
| ·研究的创新点 | 第137-138页 |
| ·研究展望 | 第138-139页 |
| 致谢 | 第139-140页 |
| 参考文献 | 第140-145页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的学术论文目录 | 第145-146页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的专利目录 | 第146页 |
