| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1．1 微电子机械系统(MEMS)简介及其加工技术 | 第8-10页 |
| 1．1．1 微电子机械系统(MEMS) | 第9页 |
| 1．1．2 微电子机械系统的应用及发展 | 第9-10页 |
| 1．1．3 微电子机械系统的加工方法 | 第10页 |
| 1．2 微型注塑模具研究的现状 | 第10-12页 |
| 1．2．1 微型注塑模具的应用与发展 | 第10-11页 |
| 1．2．2 微型模具的分类 | 第11-12页 |
| 1．2．3 微型模具制造的相关技术 | 第12页 |
| 1．3 课题的提出以及研究内容和方法 | 第12-13页 |
| 2 LIGA及准LIGA技术简介 | 第13-28页 |
| 2．1 LIGA技术的工艺过程原理 | 第13-14页 |
| 2．2 准LIGA技术 | 第14-16页 |
| 2．3 国内外LIGA及准LIGA技术工艺的研究现状及应用 | 第16-18页 |
| 2．4 SU—8胶 | 第18-21页 |
| 2．4．1 SU—8胶简介 | 第19页 |
| 2．4．2 SU—8胶的光刻机理 | 第19-21页 |
| 2．4．3 SU—8胶的研究现状 | 第21页 |
| 2．5 微电铸技术 | 第21-28页 |
| 2．5．1 微电铸工艺简介 | 第21-22页 |
| 2．5．2 电化学原理 | 第22-26页 |
| 2．5．3 电铸镍工艺 | 第26-28页 |
| 3 应用UV—LIGA工艺制作微型齿轮型腔的工艺过程及分析 | 第28-51页 |
| 3．1 试验目的及工艺过程设计 | 第28页 |
| 3．2 掩膜的制作 | 第28-30页 |
| 3．3 基底的选择与制作 | 第30页 |
| 3．4 UV—LIGA光刻试验 | 第30-36页 |
| 3．5 微电铸 | 第36-50页 |
| 3．5．1 微电铸装置 | 第36-38页 |
| 3．5．2 电铸液成分 | 第38-40页 |
| 3．5．3 电铸镍的试验结果 | 第40-44页 |
| 3．5．4 影响电铸过程的因素分析 | 第44-50页 |
| 3．6 电铸后结构的后处理 | 第50-51页 |
| 4 微型齿轮注塑模具结构设计与型腔填充模拟 | 第51-67页 |
| 4．1 注射模具的总体结构设计 | 第51-56页 |
| 4．1．1 注射模结构设计 | 第51-53页 |
| 4．1．2 浇注系统设计 | 第53-54页 |
| 4．1．3 成型件设计 | 第54-55页 |
| 4．1．4 温度调节系统设计 | 第55页 |
| 4．1．5 排气系统的设计 | 第55-56页 |
| 4．2 微型模具型腔的填充模拟 | 第56-67页 |
| 4．2．1 普通注塑参数下的注塑模拟 | 第57-59页 |
| 4．2．2 注射压力变化对填充效果的影响 | 第59-60页 |
| 4．2．3 料温变化对填充效果的影响 | 第60-62页 |
| 4．2．4 模温变化对填充效果的影响 | 第62-63页 |
| 4．2．5 流道尺寸变化对填充效果的影响 | 第63-65页 |
| 4．2．6 浇口长度尺寸变化对填充效果的影响 | 第65-67页 |
| 5 结论及展望 | 第67-70页 |
| 5．1 本课题的工作总结 | 第67-68页 |
| 5．2 今后工作的展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 附录A 45#钢基底设计图纸 | 第72页 |
| 附录B 第一次电铸铸层轮廓仪测量结果 | 第72-74页 |
| 附录C 45#钢基底夹具设计图纸 | 第74-75页 |
| 附录D 第二次电铸铸层轮廓仪测量结果 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第79页 |
