| 第一章 课题背景 | 第1-13页 |
| 一、 IC产业与微细加工: | 第6-7页 |
| 二、 曝光技术的主要研究领域 | 第7-10页 |
| ·、 光学曝光 | 第8页 |
| ·、 极紫外曝光 | 第8-9页 |
| ·、 电子束曝光 | 第9页 |
| ·、 X光曝光(XRL) | 第9页 |
| ·、 离子束曝光 | 第9-10页 |
| ·、 小结 | 第10页 |
| 三、 电子束曝光技术的历史及现状 | 第10-13页 |
| 第二章 课题内容 | 第13-22页 |
| 一、 问题的提出 | 第13-16页 |
| ·、 图形发生器的重要性 | 第13-14页 |
| ·、 图形发生器的历史与发展趋势 | 第14-16页 |
| 二、 设计思路 | 第16-18页 |
| 三、 开发步骤 | 第18页 |
| 四、 图形发生器系统硬件方案 | 第18-22页 |
| ·、 数字信号处理单元 | 第19页 |
| ·、 接口单元 | 第19-20页 |
| ·、 标记检测控制单元 | 第20页 |
| ·、 电子束控制单元 | 第20页 |
| ·、 束闸控制单元 | 第20-22页 |
| 第三章 DSP核心电路设计 | 第22-33页 |
| 一、 DSP核心电路功能 | 第22页 |
| 二、 DSP芯片选型 | 第22-24页 |
| ·、 DSP主流产品性能比较 | 第22-24页 |
| ·、 芯片选型 | 第24页 |
| 三、 TMS320C6713芯片介绍 | 第24-28页 |
| ·、 TMS320C6713硬件结构(图3.2) | 第24-26页 |
| ·、 TMS320C6713性能指标 | 第26-27页 |
| ·、 TMS320C6713地址分配 | 第27-28页 |
| 四、 TMS320C6713核心电路设计 | 第28-32页 |
| 五、 DSP软件设计 | 第32-33页 |
| ·、 开发工具 | 第32页 |
| ·、 开发流程图 | 第32-33页 |
| 第四章 DSP外围电路设计 | 第33-61页 |
| 一、 系统电源及复位设计 | 第33-39页 |
| ·、 系统供电设计 | 第33-34页 |
| ·、 电源监控设计 | 第34-36页 |
| ·、 电源监控在高速电路板中的重要性 | 第34页 |
| ·、 芯片的选用 | 第34-35页 |
| ·、 电路连接 | 第35-36页 |
| ·、 复位电路设计 | 第36-39页 |
| 二、 外部存储器扩展电路设计 | 第39-51页 |
| ·、 TMS320C6713外部存储器接口(EMIF) | 第39-40页 |
| ·、 EMIF接口特点 | 第39-40页 |
| ·、 EMIF控制寄存器 | 第40页 |
| ·、 ROM扩展 | 第40-44页 |
| ·、 芯片选择 | 第40-42页 |
| ·、 TMS320C6713与AM29LV800B的接口设计 | 第42-43页 |
| ·、 自举逻辑控制 | 第43-44页 |
| ·、 RAM扩展 | 第44-51页 |
| ·、 RAM器件的选择 | 第44-45页 |
| ·、 MT48LC4M16A2的结构特性 | 第45-47页 |
| ·、 TMS320C6713与SDRAM之间的接口方案 | 第47-48页 |
| ·、 SDRAM配置 | 第48-51页 |
| 三、 USB通讯接口设计 | 第51-58页 |
| ·、 接口电路功能 | 第51页 |
| ·、 接口芯片选择 | 第51-52页 |
| ·、 CY7C68013结构及特性 | 第52-53页 |
| ·、 接口电路设计 | 第53-56页 |
| ·、 初始化列举过程 | 第56-58页 |
| 四、 标记检测单元 | 第58页 |
| 五、 曝光与束闸控制单元 | 第58-61页 |
| 第五章 实验与结论 | 第61-68页 |
| 一、 实验装置 | 第61-62页 |
| 二、 系统调试 | 第62-63页 |
| 三、 逻辑控制仿真 | 第63-64页 |
| 四、 接口数据传输 | 第64-66页 |
| 五、 总结与深入 | 第66-68页 |
| ·、 课题总结 | 第66-67页 |
| ·、 课题的深入研究 | 第67-68页 |
| 参考文献: | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 论文答辩说明 | 第72页 |
| 关于论文使用授权的说明 | 第72页 |
