空心玻璃微球球壳准分子激光刻蚀的研究
| 摘 要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题概述 | 第7-8页 |
| ·国内外相关技术领域的发展概况、动态和趋势 | 第8-13页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第13-14页 |
| 2 准分子激光刻蚀加工 | 第14-21页 |
| ·概述 | 第14页 |
| ·准分子激光的刻蚀特性 | 第14-16页 |
| ·准分子激光机的结构 | 第16-18页 |
| ·准分子激光机的加工参数 | 第18-19页 |
| ·激光机微细加工应用范例 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 玻璃材料的准分子激光刻蚀 | 第21-36页 |
| ·概述 | 第21页 |
| ·玻璃材料的光吸收问题 | 第21-22页 |
| ·玻璃材料的破坏阈值 | 第22-26页 |
| ·玻璃片刻蚀参数的选择 | 第26-27页 |
| ·实验结果 | 第27-30页 |
| ·实验结果分析 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 空心玻璃微球的准分子激光刻蚀 | 第36-48页 |
| ·概述 | 第36页 |
| ·空心玻璃微球的制备及性能分析 | 第36-38页 |
| ·空心玻璃微球的固定 | 第38-40页 |
| ·刻蚀参数的选择 | 第40-41页 |
| ·刻蚀实验 | 第41-45页 |
| ·实验结果分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 总结与展望 | 第48-50页 |
| ·全文总结 | 第48-49页 |
| ·展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第55页 |
