| 第一章 绪论 | 第1-17页 |
| ·激光超声技术的研究与发展 | 第8-12页 |
| ·激光超声技术 | 第8页 |
| ·激光超声技术的理论研究 | 第8-9页 |
| ·激光超声的应用研究 | 第9-11页 |
| ·激光超声技术的特点 | 第11页 |
| ·激光超声技术的前景 | 第11-12页 |
| ·微机械结构与薄膜尺寸的检测 | 第12-15页 |
| ·激光超声技术在微观几何尺寸检测领域的发展概述 | 第13页 |
| ·激光超声技术在微观几何尺寸检测领域的应用 | 第13-14页 |
| ·微检测技术与时间解析泵束探针束技术 | 第14-15页 |
| ·本文的研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 激光超声激励机理 | 第17-28页 |
| ·激光超声的激励方式 | 第17-18页 |
| ·按产生机理分类 | 第17-18页 |
| ·按接触方式分类 | 第18页 |
| ·超短脉冲激光激发超声的机理 | 第18-26页 |
| ·热弹(thermal elastic)激励下激光超声源 | 第19-20页 |
| ·泵激光激发超声脉冲理论 | 第20-26页 |
| ·激光调制 | 第26-27页 |
| ·系统信噪比与激光调制 | 第26页 |
| ·电光调制 | 第26-27页 |
| 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 时间解析泵束探针束技术 | 第28-44页 |
| ·高速测量 | 第28-30页 |
| ·MEMS基片厚度测量系统引入高速测量技术原因 | 第28-29页 |
| ·高速测量技术 | 第29页 |
| ·时间解析学光测量 | 第29-30页 |
| ·时间解析泵束探针束技术的原理 | 第30-35页 |
| ·快速摄像的启示 | 第30-31页 |
| ·时间解析测量基本原理 | 第31-32页 |
| ·时间解析泵束探针束技术分类 | 第32-34页 |
| ·狭义与广义泵束探针束技术 | 第34页 |
| ·时间解析度(time resolution) | 第34-35页 |
| ·时间解析泵束探针测量实验设置 | 第35-39页 |
| ·激光器 | 第35-36页 |
| ·钛-蓝宝石激光(Ti:Sapphire laser) | 第36-37页 |
| ·激光束脉宽 | 第37-38页 |
| ·激光束波长 | 第38页 |
| ·光检测 | 第38-39页 |
| ·锁相放大(lock-in amplify) | 第39页 |
| ·偏振(polarization)去噪 | 第39页 |
| ·时间解析泵束探针束测量的数据分析 | 第39-43页 |
| ·光激载子驰豫过程 | 第40-41页 |
| ·费米-狄拉克分布(Fermi-Dirac distribution) | 第41-42页 |
| ·光激载子分布函数与样品光学性质 | 第42-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 MEMS基片厚度测量系统设计 | 第44-58页 |
| ·系统组成 | 第44-45页 |
| ·系统信号转换及流向 | 第44-45页 |
| ·声致光反射率变化的一般规律 | 第45-50页 |
| ·超声传播与薄膜厚度 | 第45页 |
| ·超声对反射率的影响 | 第45-47页 |
| ·样品界面不连续程度与回波强度 | 第47-49页 |
| ·声致光反射率变化与泵束探针束技术相结合 | 第49-50页 |
| ·系统设计 | 第50-53页 |
| ·激光器选型 | 第50页 |
| ·超声激发模块 | 第50-51页 |
| ·运动控制模块 | 第51-52页 |
| ·光反射率检测模块 | 第52-53页 |
| ·信号调制模块 | 第53页 |
| ·系统整合 | 第53-54页 |
| ·系统测量的局限性 | 第54-55页 |
| ·厚度计算 | 第55-57页 |
| 本章小结 | 第57-58页 |
| 结束语 | 第58-60页 |
| 结论 | 第58页 |
| 建议 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
