目 录 | 第1-12页 |
第一章 绪论 | 第12-33页 |
·缓蚀剂概述 | 第12-16页 |
·缓蚀剂的研究进展 | 第12-15页 |
·缓蚀剂的未来发展方向 | 第15-16页 |
·缓蚀剂的特点 | 第16-17页 |
·缓蚀剂的分类 | 第17-18页 |
·按化学组成分类 | 第17页 |
·按电化学机理分类 | 第17-18页 |
·按物理化学机理分类 | 第18页 |
·缓蚀剂缓蚀作用机理 | 第18-22页 |
·研究现状 | 第18-19页 |
·理论探讨 | 第19-22页 |
·氧化膜型缓蚀剂 | 第20页 |
·沉淀膜型缓蚀剂 | 第20-21页 |
·吸附膜型缓蚀剂 | 第21-22页 |
·咪唑啉酸洗缓蚀剂 | 第22-26页 |
·酸洗缓蚀剂概述 | 第22-23页 |
·咪唑啉类酸洗缓蚀剂 | 第23-25页 |
·咪唑啉缓蚀剂缓蚀机理研究 | 第25-26页 |
·缓蚀剂缓蚀性能的评价方法 | 第26-31页 |
·腐蚀产物分析法 | 第26-27页 |
·失重法 | 第26页 |
·量气法 | 第26页 |
·量热法 | 第26-27页 |
·电化学分析法 | 第27-28页 |
·Tafel曲线外推法 | 第27页 |
·交流阻抗法 | 第27页 |
·极化电阻法 | 第27-28页 |
·恒电量法 | 第28页 |
·电化学噪声测量法 | 第28页 |
·光谱分析法 | 第28-31页 |
·比色分析法 | 第28-29页 |
·椭圆光度法 | 第29页 |
·俄歇电子能谱法(AES) | 第29页 |
·X光电子能谱法(XPS) | 第29-30页 |
·表面增强拉曼散射(SERS) | 第30-31页 |
·本文工作 | 第31-33页 |
第二章 席夫碱基咪唑啉的合成及缓蚀性能 | 第33-56页 |
·实验部分 | 第33-36页 |
·咪唑啉缓蚀剂SMI、SEI的合成22 2.1.1.1 药品和试剂 | 第33-34页 |
·药品和试剂 | 第33页 |
·实验仪器 | 第33页 |
·SMI、SEI的合成 | 第33-34页 |
·红外谱图 | 第34-35页 |
·缓蚀剂缓蚀性能的评价 | 第35-36页 |
·失重法 | 第35-36页 |
·电化学方法 | 第36页 |
·实验结果与讨论 | 第36-54页 |
·实验结果 | 第36-47页 |
·化学失重法 | 第36-38页 |
·极化曲线法测试结果 | 第38-42页 |
·交流阻抗法测试结果 | 第42-47页 |
·讨论 | 第47-54页 |
·吸附模式 | 第47-49页 |
·温度的影响 | 第49-53页 |
·缓蚀机理的初步探讨 | 第53-54页 |
·结论 | 第54-56页 |
第三章 松香基咪唑啉的合成及缓蚀性能 | 第56-62页 |
·松香基咪唑啉CRI、ORI的合成 | 第56-57页 |
·主要原料和试剂 | 第56-57页 |
·合成方法 | 第57页 |
·CRI、ORI缓蚀性能的评价 | 第57-61页 |
·实验方法 | 第57-58页 |
·实验结果与分析 | 第58-61页 |
·实验结果 | 第58-60页 |
·缓蚀机理分析 | 第60-61页 |
·结论 | 第61-62页 |
发表论文情况 | 第62-63页 |
致谢 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-70页 |