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纤维基ZnO/Ag/ZnO多层膜的制备、形貌及光电性能研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-13页
   ·前言第8页
   ·纤维基纳米薄膜国内外研究现状第8-9页
   ·纤维基纳米薄膜的制备方法第9-11页
     ·电镀第9页
     ·化学镀第9页
     ·真空镀第9-11页
   ·电介质/金属/电介质多层膜的研究现状第11页
   ·纤维基纳米薄膜的应用第11页
   ·本课题的研究内容第11-13页
     ·本课题的创新点第11-12页
     ·论文的目的、意义和构思第12-13页
第二章 PET 基多层薄膜的制备及测试手段第13-22页
   ·氧化锌和银的基本性能第13页
   ·磁控溅射相关知识第13-15页
   ·JZCK-420B 型磁控溅射镀膜系统第15-17页
   ·样品的制备第17-18页
     ·实验材料第17页
     ·实验仪器与试剂第17页
     ·材料预处理第17页
     ·样品制备第17-18页
   ·测试手段第18-22页
     ·原子力显微镜第18-19页
     ·直线四探针测试仪第19页
     ·扫描电子显微镜第19-20页
     ·XRD 衍射仪第20-21页
     ·分光光度计第21页
     ·耐磨仪第21-22页
第三章 PET 基多层薄膜结构及表面形貌研究第22-34页
   ·磁控溅射薄膜生长模式第22-23页
   ·实验材料与实验仪器第23-24页
   ·实验方法第24页
   ·结果与讨论第24-33页
     ·银膜厚度对多层膜结构及表面形貌的影响第24-28页
     ·功率对多层膜结构及表面形貌的影响第28-29页
     ·氩气压强对多层膜结构及表面形貌的影响第29-31页
     ·衬底温度对多层膜结构及表面形貌的影响第31-33页
   ·小结第33-34页
第四章 PET 基多层薄膜导电性能研究第34-41页
   ·实验样品与实验仪器第34页
     ·实验样品第34页
     ·实验仪器第34页
   ·实验步骤与实验方法第34-35页
     ·导电性能测试第34页
     ·薄膜均匀性评价指标第34-35页
   ·结果与讨论第35-40页
     ·银膜厚度对多层膜导电性能的影响第35-36页
     ·溅射功率对多层膜导电性能的影响第36-37页
     ·压强对多层膜导电性能的影响第37-38页
     ·衬底温度对多层膜导电性能的影响第38-40页
   ·小结第40-41页
第五章 PET 基多层薄膜其它性能研究分析第41-46页
   ·实验材料与仪器第41页
   ·多层膜晶态结构第41-43页
   ·光学性能第43-44页
   ·薄膜–基体界面结合强度第44-45页
   ·小结第45-46页
第六章 结语第46-48页
   ·结论第46页
   ·本课题的设想与展望第46-48页
致谢第48-49页
参考文献第49-52页
附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文第52页

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