电子散斑干涉载频调制形貌测量技术研究
摘要 | 第1-8页 |
Abstract | 第8-10页 |
第一章 绪论 | 第10-18页 |
·激光散斑现象及其相关基本概念 | 第10-13页 |
·激光散斑的概念 | 第10-11页 |
·激光散斑的成因及其类型 | 第11页 |
·激光散斑场的产生方法 | 第11-13页 |
·散斑测量的起源与应用 | 第13-15页 |
·三维形貌测量研究的现状和意义 | 第15-16页 |
·本论文的主要工作 | 第16-18页 |
第二章 电子散斑干涉测量技术及其位相测量技术 | 第18-32页 |
·电子散斑干涉测量 | 第18-24页 |
·电子散斑干涉测量的现状及发展前景 | 第18页 |
·电子散斑干涉基本原理 | 第18-21页 |
·电子散斑干涉相减技术的统计分析 | 第21-23页 |
·电子散斑干涉条纹图像去噪处理 | 第23-24页 |
·位相测量技术 | 第24-31页 |
·相移方法 | 第24-27页 |
·傅立叶变换法 | 第27-30页 |
·载波法 | 第27-28页 |
·傅立叶变换法的原理 | 第28-30页 |
·相位图的去包裹处理 | 第30-31页 |
·小结 | 第31-32页 |
第三章 物体形貌测量 | 第32-42页 |
·光学三角测量法 | 第32-33页 |
·光切法测量 | 第33-34页 |
·投影栅线法 | 第34-40页 |
·傅立叶变换用于投影栅线法 | 第34-38页 |
·相移用于投影栅线法 | 第38-39页 |
·基于调制度投影栅线法 | 第39-40页 |
·小结 | 第40-42页 |
第四章 散斑干涉形貌测量技术 | 第42-50页 |
·散斑干涉测量的方法概述 | 第42-43页 |
·角散斑形貌测量技术 | 第43-47页 |
·偏转物体型角散斑测量技术 | 第43-45页 |
·偏转光束型角散斑测量技术 | 第45-47页 |
·双波长散斑形貌测量技术 | 第47-49页 |
·小结 | 第49-50页 |
第五章 散斑干涉载频调制形貌测量 | 第50-58页 |
·散斑载频调制形貌测量的原理 | 第50-52页 |
·傅立叶变换法解调 | 第52-53页 |
·典型实验 | 第53-56页 |
·实验系统 | 第53-54页 |
·步进电机及驱动控制 | 第54页 |
·测量实验 | 第54-56页 |
·结论 | 第56-58页 |
参考文献 | 第58-64页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-65页 |
致谢 | 第65页 |