| 摘要 | 第1-13页 |
| ABSTRACT | 第13-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-32页 |
| §1.1 引言 | 第17-18页 |
| §1.2 高温超导材料及其发展 | 第18页 |
| §1.3 高温超导薄膜制备技术 | 第18-20页 |
| §1.4 衬底的要求和选择 | 第20-23页 |
| §1.5 KTaO_3晶体的研究背景 | 第23-24页 |
| §1.6 单晶衬底的超精密加工 | 第24-26页 |
| §1.6.1 单晶衬底的抛光方法研究现状 | 第24-25页 |
| §1.6.2 化学机械抛光(CMP)概述 | 第25-26页 |
| §1.6.3 化学抛光技术的发展 | 第26页 |
| §1.7 本论文的研究工作 | 第26-28页 |
| §1.7.1 晶体生长 | 第27页 |
| §1.7.2 晶体的缺陷研究 | 第27页 |
| §1.7.3 晶体的物理性能 | 第27页 |
| §1.7.4 晶体抛光的研究 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-32页 |
| 第二章 KTaO_3晶体的生长 | 第32-42页 |
| §2.1 引言 | 第32页 |
| §2.2 生长方法及装置 | 第32-34页 |
| §2.3 KTaO_3单晶生长 | 第34-37页 |
| §2.3.1 KTaO_3多晶料的合成 | 第34页 |
| §2.3.2 KTaO_3单晶的生长 | 第34-36页 |
| §2.3.3 KTaO_3晶体的退火 | 第36-37页 |
| §2.4 KTaO_3晶体生长相关问题的讨论 | 第37-40页 |
| §2.4.1 温场的影响 | 第37-38页 |
| §2.4.2 工艺参数对晶体生长的影响 | 第38-39页 |
| §2.4.3 籽晶对晶体生长的影响 | 第39页 |
| §2.4.4 外界因素(杂质、气泡、外场)的影响 | 第39-40页 |
| §2.5 本章小节 | 第40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第三章 KTaO_3晶体的元素、结构与缺陷表征 | 第42-57页 |
| §3.1 晶体结构 | 第42-45页 |
| §3.1.1 晶体的生长形貌 | 第42-43页 |
| §3.1.2 X射线测定晶体结构 | 第43页 |
| §3.1.3 晶体组分 | 第43-45页 |
| §3.2 晶体的缺陷研究 | 第45-51页 |
| §3.2.1 晶体缺陷的几种研究方法 | 第45-48页 |
| §3.2.2 KTaO_3晶体缺陷的研究与分析 | 第48-51页 |
| §3.3 KTaO_3晶体缺陷研究 | 第51-55页 |
| §3.3.1 化学腐蚀法观察KTaO_3晶体的缺陷 | 第51-54页 |
| §3.3.2 晶体的摇摆曲线 | 第54-55页 |
| §3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
| 第四章 KTaO_3晶体的基本物理性质 | 第57-69页 |
| §4.1 引言 | 第57页 |
| §4.2 KTaO_3晶体的密度 | 第57-58页 |
| §4.3 KTaO_3晶体的硬度 | 第58-59页 |
| §4.4 线性光学性质 | 第59-60页 |
| §4.4.1 折射率 | 第59页 |
| §4.4.2 透过和吸收光谱 | 第59-60页 |
| §4.5 热学性质 | 第60-67页 |
| §4.5.1 比热 | 第60-61页 |
| §4.5.2 热膨胀 | 第61-63页 |
| §4.5.3 KTaO_3晶体的密度随温度的变化曲线 | 第63-64页 |
| §4.5.4 热扩散和热传导 | 第64-67页 |
| §4.6 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 KTaO_3晶体的超光滑表面加工 | 第69-82页 |
| §5.1 引言 | 第69-70页 |
| §5.2 化学机械抛光的原理(CMP)和装置 | 第70-71页 |
| §5.3 测试工具 | 第71-72页 |
| §5.3.1 光学显微镜 | 第71页 |
| §5.3.2 原子力显微镜 | 第71页 |
| §5.3.3 高分辨X射线衍射仪 | 第71-72页 |
| §5.4 KTaO_3衬底加工的具体方法及过程 | 第72-74页 |
| §5.5 检测结果及分析 | 第74-78页 |
| §5.6 影响化学抛光效率及表面质量的主要因素 | 第78-80页 |
| §5.6.1 抛光液的影响 | 第78页 |
| §5.6.2 抛光垫的影响 | 第78-79页 |
| §5.6.3 压力的影响 | 第79页 |
| §5.6.4 转速的影响 | 第79页 |
| §5.6.5 抛光液流量的影响 | 第79-80页 |
| §5.7 KTaO_3衬底的清洗 | 第80页 |
| §5.8 本章小结 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-82页 |
| 第六章 结论及有待进一步开展的工作 | 第82-86页 |
| §6.1 主要结论 | 第82-84页 |
| §6.2 本论文的主要创新点 | 第84-85页 |
| §6.3 有待进一步开展的工作 | 第85-86页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第88页 |