| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-36页 |
| ·扫描电子显微及能谱分析研究 | 第12-19页 |
| ·扫描电子显微镜的原理和应应用用 | 第12-15页 |
| ·电子与固体相互作用 | 第15-18页 |
| ·数值计算模模拟拟方方法法及并行计算 | 第18-19页 |
| ·Monte Carlo模模拟拟在表面分析中的应应用用 | 第19-36页 |
| ·扫描电镜成像的模模拟拟研究 | 第19-29页 |
| ·准弹性电子散射及能谱分析 | 第29-31页 |
| ·SEM中的荷电效应 | 第31-36页 |
| 第2章 电子散射理论及Monte Carlo模型 | 第36-64页 |
| ·电子与固体的相互作用理论 | 第36-46页 |
| ·电子在固体中输运的一般表述 | 第36-38页 |
| ·电子弹性散射截面 | 第38-41页 |
| ·电子非弹性散射截面 | 第41-46页 |
| ·Monte Carlo模型的建立 | 第46-52页 |
| ·抽样方方法法和模模拟拟步骤 | 第46-49页 |
| ·程序并行化 | 第49-52页 |
| ·3D结构构构构建算法 | 第52-56页 |
| ·实体结构几何法 | 第53-54页 |
| ·有限元三角形网格法 | 第54-55页 |
| ·空间分割和直线步进 | 第55-56页 |
| ·粗糙糙表表面结构的构建 | 第56-58页 |
| ·相关修正算法 | 第58-64页 |
| ·电子散射步长的修正 | 第58-60页 |
| ·电子能量、方向和透射几率的修正 | 第60-64页 |
| 第3章 CD-SEM中纳米级线宽测量算法的Monte Carlo模模拟拟研究 | 第64-82页 |
| ·模型的建立及表面粗糙度度的的模模拟拟 | 第64-67页 |
| ·几何结构模型 | 第64-66页 |
| ·模型精确性验证 | 第66-67页 |
| ·各种结构参数对纳米线宽确定定的的影响 | 第67-80页 |
| ·小结 | 第80-82页 |
| 第4章 SEM中荷电效应的流体动力学模模拟拟及SE深度分 布的模模拟拟研究 | 第82-104页 |
| ·荷电效应的流体动力学模模拟拟 | 第82-89页 |
| ·理论模型的建立 | 第82-87页 |
| ·数值算法处理 | 第87-89页 |
| ·基本本参参数的确定 | 第89页 |
| ·SE深度分布的模模拟拟 | 第89-102页 |
| ·激发深度分布函数和发射射深深度分布函数 | 第90-91页 |
| ·结果果和和分析 | 第91-102页 |
| ·小结 | 第102-104页 |
| 第5章 扫描俄歇显微分析的Monte Carlo模模拟拟研究 | 第104-120页 |
| ·扫描俄歇成像的模模拟拟 | 第104-107页 |
| ·内壳层电离截面 | 第104-105页 |
| ·俄歇电子激发和发射 | 第105-107页 |
| ·结果与讨论 | 第107-119页 |
| ·小结 | 第119-120页 |
| 第6章 ERBS和HEREELS的Monte Carlo定量模模拟拟研究 | 第120-142页 |
| ·电子子准准弹性散射理论及模模拟拟拟模模型 | 第120-123页 |
| ·反弹能 | 第120-122页 |
| ·模模拟拟的程序处理 | 第122-123页 |
| ·ERBS和HREELS谱的结果分析 | 第123-141页 |
| ·C/Ge双层膜体系的ERBS谱的的定定量分析 | 第123-133页 |
| ·ERBS和HEREELS谱的的定定量分析 | 第133-138页 |
| ·准弹性峰信号的有效深度分布函数 | 第138-141页 |
| ·小结 | 第141-142页 |
| 第7章 总结和展望 | 第142-146页 |
| 参考文献 | 第146-155页 |
| 附录 | 第155-164页 |
| A.1 （粗糙糙表表面）梯形和圆弧角构造体的构建方方法法 | 第155-158页 |
| A.1.1 粗糙糙表表面梯形构造体的构建 | 第155-156页 |
| A.1.2 圆弧角构造体的构建 | 第156-158页 |
| A.2 ERBS的能量分辨率估计 | 第158-159页 |
| A.3 ERBS能谱中探测构型的模型控制 | 第159-162页 |
| A.4 FISHPACK程序源码包使用中参参变变量的设置 | 第162-164页 |
| 致谢 | 第164-166页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得得的的研究成果 | 第166-168页 |
