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ICF驱动器亚波长光栅谐波分离技术研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-21页
   ·本论文的研究背景及意义第7-8页
   ·ICF谐波分离要求第8-11页
     ·ICF驱动器终端光学系统第9页
     ·物理实验对谐波分离的要求第9-11页
   ·谐波分离技术发展历史和现状第11-15页
     ·利用材料色散特性的谐波分离技术第11-13页
       ·空间纵向分离技术第11页
       ·楔形透镜分离技术第11-13页
     ·利用多色膜的谐波分离技术第13页
     ·利用衍射元件的谐波分离技术第13-15页
       ·CSG分离技术第13-14页
       ·双光栅分离技术第14-15页
   ·亚波长光栅的发展概况第15-16页
     ·抗反射应用第15-16页
     ·偏振特性应用第16页
     ·光谱特性应用第16页
   ·亚波长光栅的设计理论基础第16-19页
     ·耦合波法第18页
     ·模态法第18-19页
     ·C方法第19页
   ·本论文的主要目标和研究内容第19-21页
第二章 用于ICF驱动器谐波分离的亚波长光栅设计第21-35页
   ·亚波长光栅设计的基本思路第21页
   ·优化设计的目标函数设计第21-23页
     ·谐波分离的品质函数定义第22-23页
     ·谐波分离的品质函数性质讨论第23页
   ·亚波长光栅设计第23-33页
     ·光栅周期设计第23页
     ·最佳入射角设计第23-24页
     ·矩形槽设计第24-29页
     ·三角形槽设计第29-33页
   ·小结第33-35页
第三章 谐波分离亚波长光栅误差宽容度分析第35-46页
   ·矩形槽亚波长光栅加工误差宽容度分析第35-39页
     ·光栅周期误差第35-37页
     ·占空比误差第37页
     ·刻槽深度误差第37-38页
     ·垂直度误差第38-39页
   ·三角形槽亚波长光栅加工误差宽容度分析第39-44页
     ·光栅周期误差第39-41页
     ·占空比误差第41-42页
     ·刻槽深度误差第42-43页
     ·平顶误差第43-44页
   ·亚波长光栅入射光误差宽容度分析第44-45页
   ·小结第45-46页
第四章 亚波长光栅谐波分离实验第46-50页
   ·亚波长光栅样片参数第46-47页
   ·理论计算结果第47-48页
   ·亚波长光栅验证实验和分析第48-50页
第五章 总结第50-52页
致谢第52-53页
参考文献第53-57页
附录第57页

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