聚合物平板微器件的翘曲及模内键合研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题背景及意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·微注塑成型翘曲的研究现状 | 第12-15页 |
| ·聚合物平板微器件键合的研究现状 | 第15-16页 |
| ·本文主要内容 | 第16-18页 |
| 2 型芯可插拔式微注塑模具的设计与制造 | 第18-34页 |
| ·Babyplast610微型注塑机简介 | 第18-19页 |
| ·平板微器件的结构设计 | 第19页 |
| ·微注塑模具结构设计 | 第19-32页 |
| ·模具总体结构 | 第19-20页 |
| ·型芯装配方式设计 | 第20-22页 |
| ·浇注系统设计 | 第22-28页 |
| ·模温控制系统设计 | 第28-29页 |
| ·排气系统设计 | 第29-30页 |
| ·推出机构设计 | 第30-32页 |
| ·微注塑模具的制造 | 第32-33页 |
| ·模具零部件的制造 | 第32-33页 |
| ·模具型芯的制作 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 平板微器件结构及工艺参数对翘曲的影响 | 第34-50页 |
| ·翘曲的基本原理 | 第34-36页 |
| ·翘曲产生的原因 | 第34-35页 |
| ·翘曲的主要影响因素 | 第35-36页 |
| ·翘曲仿真试验 | 第36-44页 |
| ·试验方法概述 | 第36-38页 |
| ·基于正交试验的翘曲仿真 | 第38-39页 |
| ·注塑残余应力分析 | 第39-40页 |
| ·试验结果分析 | 第40-44页 |
| ·翘曲测量实验 | 第44-49页 |
| ·实验设备 | 第44-45页 |
| ·实验方法与过程 | 第45-46页 |
| ·测量实验结果分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4 辅助溶剂对平板微器件模内键合的影响 | 第50-61页 |
| ·聚合物溶剂辅助键合原理 | 第50-52页 |
| ·模内键合在实验中的问题 | 第50-51页 |
| ·溶剂辅助键合原理 | 第51-52页 |
| ·PMMA芯片与辅助溶剂相溶性测试 | 第52-56页 |
| ·实验设备 | 第52页 |
| ·实验方法与过程 | 第52-53页 |
| ·微通道形貌与芯片表面质量的观测 | 第53-56页 |
| ·借助辅助溶剂的模内键合实验 | 第56-60页 |
| ·实验设备 | 第56-57页 |
| ·实验方法与过程 | 第57-58页 |
| ·微通道形貌观测 | 第58-59页 |
| ·芯片键合强度测试 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
