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硫属相变存储器CRAM的存储元结构设计及优化

中文摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-16页
   ·半导体存储器第9-10页
   ·半导体存储器的发展趋势第10-11页
   ·非易失性存储器第11-13页
   ·CRAM的研究现状第13-14页
   ·CRAM研究中存在的主要问题第14-15页
   ·本文的主要工作第15-16页
第2章 CRAM存储机理及工作特性第16-21页
   ·CRAM的相变材料第16-18页
   ·CRAM的工作机理第18-19页
   ·CRAM的直流Ⅰ-Ⅴ特性第19-20页
   ·CRAM的性能优点第20-21页
第3章 CRAM存储元结构设计第21-37页
   ·CRAM存储元结构设计重点第21-22页
   ·CRAM存储元结构设计要求第22-23页
   ·现有CRAM存储元结构第23-26页
     ·传统CRAM结构第23-24页
     ·现有改进的存储单元结构第24-26页
   ·基于热场模拟的结构设计第26-37页
     ·建立计算机模型第27-31页
     ·传统"T"型结构存储元的热场模拟第31-33页
     ·改进的"工"型单元结构热场模拟第33-37页
第4章 基于低功耗的"工"型存储元结构优化第37-53页
   ·降低CRAM器件功耗的主要方法第37-39页
   ·各层材料尺寸对写电流的影响第39-45页
     ·相变层GST的厚度对写电流的影响第40-42页
     ·加热层厚度对写电流的影响第42-44页
     ·底电极尺寸对写电流的影响第44-45页
   ·最优存储单元电阻第45-48页
   ·最优"工"型CRAM存储单元结构第48-53页
第5章 总结与展望第53-55页
   ·总结第53页
   ·展望第53-55页
参考文献第55-58页
致谢第58-59页
附录A CRAM用MOS管电场计算理论第59-71页
 A.1 MOS管的相关基础知识第59-62页
 A.2 半导体器件模型化的物理基础第62-64页
 A.3 MOS管内部电场求解方程的建立第64-68页
 A.4 MOS管工艺参数选取第68-71页
附录B 攻读硕士学位期间所发表的论文及专利第71页

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