| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-39页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第11-13页 |
| ·ITO 薄膜的结构与性质 | 第13-18页 |
| ·结构特性 | 第13-14页 |
| ·光学性质 | 第14-16页 |
| ·电学性质 | 第16-18页 |
| ·ITO 薄膜的主要制备方法 | 第18-21页 |
| ·磁控溅射法 | 第18-19页 |
| ·真空蒸发法 | 第19-20页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第20-21页 |
| ·ITO 薄膜的导电机理及能带理论 | 第21-24页 |
| ·导电机理 | 第21-22页 |
| ·能带理论 | 第22-24页 |
| ·ITO 薄膜的研究展望 | 第24-25页 |
| ·低温沉积ITO 薄膜 | 第25-27页 |
| ·ITO 薄膜的应用和有待解决的主要问题 | 第27-29页 |
| ·ITO 薄膜的应用 | 第27-28页 |
| ·ITO 薄膜有待解决的主要问题 | 第28-29页 |
| ·本论文的研究背景和研究内容 | 第29页 |
| 参考文献 | 第29-39页 |
| 第二章 共溅射法制备Zr 掺杂ITO 薄膜的特性研究 | 第39-74页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·高价金属元素掺杂ITO 薄膜的研究现状 | 第39-41页 |
| ·实验方法及步骤 | 第41-43页 |
| ·薄膜厚度和Zr 靶溅射功率对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第43-47页 |
| ·薄膜厚度对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第43-45页 |
| ·锆靶溅射功率对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第45-47页 |
| ·衬底温度对ITO 和ITO:Zr 薄膜结构与光电性能的影响 | 第47-57页 |
| ·衬底温度对薄膜微结构的影响 | 第47-52页 |
| ·衬底温度对薄膜光电性能的影响 | 第52-57页 |
| ·氧流量对ITO 和ITO:Zr 薄膜结构与光电性能的影响 | 第57-63页 |
| ·氧流量对薄膜微结构的影响 | 第57-60页 |
| ·氧流量对薄膜光电性能的影响 | 第60-63页 |
| ·退火处理对ITO 和ITO:Zr 薄膜结构与光电性能的影响 | 第63-71页 |
| ·不同退火时间下薄膜电阻的变化 | 第63-64页 |
| ·退火温度对薄膜微结构的影响 | 第64-67页 |
| ·退火温度对薄膜光电性能的影响 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 第三章 氧化铟及其Sn、Zr 掺杂的电子能带结构计算 | 第74-89页 |
| ·引言 | 第74-75页 |
| ·密度泛函理论 | 第75-77页 |
| ·第一性原理计算的理论模型与计算方法 | 第77-79页 |
| ·计算结果与讨论 | 第79-86页 |
| ·氧化铟的电子结构与态密度 | 第79-81页 |
| ·ITO 中不同Sn 掺杂量的理论计算研究 | 第81-84页 |
| ·ITO:Zr 的电子结构与态密度 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 第四章 共溅射法制备 Ta_2O_5掺杂 ITO 薄膜的特性研究 | 第89-106页 |
| ·引言 | 第89页 |
| ·实验方法及步骤 | 第89-90页 |
| ·不同的制备过程对ITO:TA 薄膜结构与光电性能的影响 | 第90-97页 |
| ·ITO:Ta 薄膜的微结构 | 第90-92页 |
| ·ITO:Ta 薄膜的光电性能 | 第92-97页 |
| ·ITO:TA 和ITO:Zr 薄膜结构与光电性能的对比 | 第97-100页 |
| ·ITO:TA 电子能带结构的第一性原理计算 | 第100-103页 |
| ·本章小结 | 第103页 |
| 参考文献 | 第103-106页 |
| 第五章 掺杂ITO 薄膜的环境稳定性和表面能的研究 | 第106-128页 |
| ·引言 | 第106-107页 |
| ·掺杂ITO 薄膜在酸碱溶液和热环境中的性能研究 | 第107-115页 |
| ·实验过程 | 第107-108页 |
| ·薄膜在酸碱溶液和热环境中电阻的变化 | 第108-111页 |
| ·薄膜酸腐蚀前后的表面形貌和XPS 的研究 | 第111-115页 |
| ·掺杂ITO 薄膜在不同模拟环境中的电学稳定性和电化学测试 | 第115-122页 |
| ·实验过程 | 第115-116页 |
| ·薄膜在不同模拟环境中的电学稳定性 | 第116-118页 |
| ·薄膜在不同模拟环境中的电化学测试 | 第118-122页 |
| ·掺杂ITO 薄膜表面能的研究 | 第122-126页 |
| ·理论基础与实验过程 | 第122-124页 |
| ·薄膜表面能的研究 | 第124-126页 |
| ·本章小结 | 第126页 |
| 参考文献 | 第126-128页 |
| 第六章 主要结论及创新点 | 第128-130页 |
| ·主要结论 | 第128-129页 |
| ·创新点 | 第129-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 攻读博士学位期间发表或录用的论文及申请的专利 | 第131-133页 |
