| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究目的和意义 | 第10-11页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第11-14页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第11页 |
| ·金属有机化学气相沉积法 | 第11-12页 |
| ·分子束外延法 | 第12页 |
| ·喷雾热解法 | 第12-13页 |
| ·磁控溅射法 | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第13-14页 |
| ·ZnO 薄膜的掺杂改性研究 | 第14-16页 |
| ·N 掺杂改性 | 第14页 |
| ·As和P掺杂改性 | 第14-15页 |
| ·共掺杂改性 | 第15-16页 |
| ·ZnO 结构计算的研究进展 | 第16-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验材料与研究方法 | 第18-25页 |
| ·溶胶-凝胶法的原理 | 第18页 |
| ·实验仪器与试剂 | 第18-20页 |
| ·掺杂ZnO 薄膜的制备过程 | 第20-22页 |
| ·衬底的清洗 | 第20页 |
| ·溶胶的制备 | 第20-21页 |
| ·薄膜制备流程 | 第21页 |
| ·Al单掺ZnO 薄膜的制备 | 第21页 |
| ·Al-Na 共掺ZnO 薄膜的制备 | 第21-22页 |
| ·La 单掺ZnO 薄膜的制备 | 第22页 |
| ·La-Na 共掺ZnO 薄膜的制备 | 第22页 |
| ·结构与性能测试 | 第22-23页 |
| ·XRD测试 | 第23页 |
| ·SEM 测试 | 第23页 |
| ·电阻率测试 | 第23页 |
| ·紫外-可见分光光度计测试 | 第23页 |
| ·CASTEP 计算模块及参数设置 | 第23-25页 |
| 第3章 掺杂ZnO 薄膜的结构与光电性能分析 | 第25-47页 |
| ·Al单掺ZnO 薄膜的性能表征与结构分析 | 第25-31页 |
| ·Al掺杂含量对ZnO 薄膜光电性能的影响 | 第25-26页 |
| ·Al单掺ZnO 薄膜导电机理分析 | 第26-28页 |
| ·退火温度对Al单掺ZnO薄膜光电性能的影响 | 第28-29页 |
| ·退火温度对Al单掺ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第29-30页 |
| ·退火温度对Al单掺ZnO 薄膜结构的影响 | 第30-31页 |
| ·Al-Na 共掺ZnO 薄膜的性能表征与结构分析 | 第31-35页 |
| ·Na 掺杂含量对Al-Na 共掺ZnO 薄膜光电性能的影响 | 第31-33页 |
| ·Na 掺杂含量对Al-Na 共掺ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第33页 |
| ·Na 掺杂含量对Al-Na 共掺ZnO 薄膜结构的影响 | 第33-34页 |
| ·退火温度对Al-Na共掺ZnO 薄膜电性能的影响 | 第34页 |
| ·退火温度对Al-Na 共掺ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·La 单掺ZnO 薄膜的性能表征与结构分析 | 第35-41页 |
| ·La 掺杂含量对ZnO 薄膜光电性能的影响 | 第35-37页 |
| ·La 掺杂含量对ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第37-38页 |
| ·La 掺杂含量对ZnO 薄膜结构的影响 | 第38-39页 |
| ·退火温度对La 单掺ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·退火温度对La 单掺ZnO 薄膜电性能的影响 | 第40-41页 |
| ·La-Na 共掺ZnO 薄膜的性能表征与结构分析 | 第41-45页 |
| ·Na 掺杂含量对La-Na 共掺ZnO 薄膜光电性能的影响 | 第41-42页 |
| ·Na 掺杂含量对La-Na 共掺ZnO 薄膜结构的影响 | 第42-43页 |
| ·Na 掺杂含量对La-Na 共掺ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第43-44页 |
| ·退火温度对La-Na 共掺ZnO 薄膜电性能的影响 | 第44页 |
| ·退火温度对La-Na 共掺ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 ZnO 体系的结构计算 | 第47-58页 |
| ·纯ZnO 体系的结构计算 | 第47-52页 |
| ·参数设置 | 第47页 |
| ·纯ZnO 体系的态密度和能带结构 | 第47-52页 |
| ·掺杂ZnO 体系的结构计算 | 第52-57页 |
| ·Al单掺和Al-Na 共掺ZnO 体系的理论模型 | 第52-53页 |
| ·Al单掺和Al-Na 共掺ZnO 体系的晶胞优化 | 第53-54页 |
| ·Al单掺和Al-Na 共掺ZnO 体系的态密度与能带结构 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
