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非金属衬底上石墨烯免转移生长研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第1章 绪论第9-17页
    1.1 引言第9页
    1.2 二维材料简介第9-11页
        1.2.1 石墨烯简介第9-10页
        1.2.2 MoS_2简介第10-11页
        1.2.3 其他二维材料简介第11页
    1.3 石墨烯的基本结构和性能第11-14页
        1.3.1 石墨烯的能带结构第11-12页
        1.3.2 石墨烯的电学性能第12-13页
        1.3.3 石墨烯的光学性能第13-14页
    1.4 石墨烯的应用前景第14-15页
        1.4.1 石墨烯在微电子上的应用第14页
        1.4.2 石墨烯在透明电极上的应用第14-15页
        1.4.3 石墨烯在能源领域的应用第15页
    1.5 本文主要研究内容第15-17页
第2章 石墨烯制备与转移方法以及性能表征第17-27页
    2.1 石墨烯的制备方法第17-20页
        2.1.1 机械剥离法第17页
        2.1.2 氧化还原法第17-18页
        2.1.3 外延生长法第18-19页
        2.1.4 化学气相沉积法第19-20页
        2.1.5 其他制备方法第20页
    2.2 石墨烯的转移方法第20-23页
        2.2.1 转移机械剥离法生长的石墨烯第20-21页
        2.2.2 转移金属上以CVD法生长的石墨烯第21-22页
        2.2.3 转移SiC上生长的石墨烯第22-23页
    2.3 石墨烯的性能表征第23-25页
        2.3.1 光学显微镜第23页
        2.3.2 扫描电子显微镜第23-24页
        2.3.3 原子力显微镜第24页
        2.3.4 拉曼光谱第24-25页
    2.4 本章小结第25-27页
第3章 基于非金属衬底的免转移生长实验第27-41页
    3.1 垂直冷壁化学气相沉积系统第27-29页
    3.2 金属辅助的免转移生长研究第29-36页
        3.2.1 基于金属Ni辅助的免转移生长第29-31页
        3.2.2 相关实验及结果第31-36页
    3.3 采用PLASMA辅助的免转移生长研究第36-40页
        3.3.1 Plasma增强技术下Cu辅助生长第36-38页
        3.3.2 Plasma增强技术下直接生长第38-40页
    3.4 本章小结第40-41页
第4章 有机物做碳源的免转移生长研究第41-49页
    4.1 有机物做碳源的免转移生长实验流程第41-42页
    4.2 有机物做碳源的免转移生长实验第42-47页
        4.2.1 温度对生长结果影响的探究实验第42-43页
        4.2.2 衬底与残留物关系的探究实验第43-45页
        4.2.3 PMMA做碳源的石墨烯形成过程的探究实验第45-47页
    4.3 本章小结第47-49页
第5章 垂直石墨烯的生长研究第49-57页
    5.1 垂直石墨烯简介第49-51页
        5.1.1 垂直石墨烯的性能第49-50页
        5.1.2 垂直石墨烯的生长及应用第50-51页
    5.2 垂直石墨烯的生长实验第51-56页
        5.2.1 采用远距离Plasma的生长实验第52-53页
        5.2.2 采用近距离Plasma的生长实验第53-56页
    5.3 本章小结第56-57页
结论第57-59页
参考文献第59-65页
攻读硕士期间所发表的学术论文第65-67页
致谢第67页

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