基于原子力显微镜机械减薄黑磷方法研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第9-27页 |
| 1.1 本课题的研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 黑磷的结构 | 第11-13页 |
| 1.3 黑磷的性质 | 第13-21页 |
| 1.3.1 黑磷的光电特性及其方向性 | 第13-15页 |
| 1.3.2 黑磷的机械特性及其方向性 | 第15-19页 |
| 1.3.3 黑磷的不稳定性及退化机理 | 第19-21页 |
| 1.4 黑磷的制备及纳米黑磷的剥离 | 第21-25页 |
| 1.4.1 黑磷体材料的制备 | 第21-22页 |
| 1.4.2 纳米黑磷的剥离 | 第22-25页 |
| 1.5 本课题的工作思路与研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 二维材料转移方法与技术研究 | 第27-37页 |
| 2.1 二维材料转移方法介绍 | 第27-31页 |
| 2.1.1 基于PDMS的干法转移方法 | 第27-30页 |
| 2.1.2 基于PVA与PMMA的湿法转移方法 | 第30-31页 |
| 2.2 转移平台设计 | 第31-35页 |
| 2.2.1 转移平台材料夹持模块设计 | 第31-32页 |
| 2.2.2 转移平台显微模块设计 | 第32-33页 |
| 2.2.3 材料转移流程与系统整体结构 | 第33-35页 |
| 2.3 利用转移平台实现黑磷定向转移 | 第35-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 AFM微悬臂梁弹性常数标定 | 第37-59页 |
| 3.1 AFM探针法向弹性常数标定方法介绍 | 第37-40页 |
| 3.2 基于超精密天平的标定系统介绍 | 第40-45页 |
| 3.2.1 标定系统整体结构与原理 | 第40-43页 |
| 3.2.2 悬臂梁弹性常数标定示例 | 第43-45页 |
| 3.3 标定系统改进 | 第45-57页 |
| 3.3.1 原系统劣势分析 | 第45-48页 |
| 3.3.2 系统改进方案 | 第48-52页 |
| 3.3.3 系统机械连接件设计与整体结构示意 | 第52-55页 |
| 3.3.4 新系统标定结果及分析 | 第55-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第4章 黑磷原位减薄方法研究 | 第59-89页 |
| 4.1 AFM减薄黑磷机理 | 第59-70页 |
| 4.2 材料减薄软硬件平台搭建 | 第70-76页 |
| 4.2.1 硬件平台介绍 | 第70-71页 |
| 4.2.2 纳米操纵系统介绍 | 第71-73页 |
| 4.2.3 黑磷减薄GUI界面设计 | 第73-74页 |
| 4.2.4 信号采集系统 | 第74-75页 |
| 4.2.5 减薄进度读取装置设计 | 第75-76页 |
| 4.3 单线切削研究 | 第76-82页 |
| 4.3.1 单线切削时不同下压力对应切削深度变化 | 第76-78页 |
| 4.3.2 切削方向与黑磷晶向关系研究 | 第78-82页 |
| 4.4 面减薄研究 | 第82-87页 |
| 4.4.1 黑磷减薄的两种具体方式 | 第82-84页 |
| 4.4.2 探针移动速度对减薄的影响 | 第84-85页 |
| 4.4.3 路径间距对减薄的影响 | 第85-87页 |
| 4.5 本章小结 | 第87-89页 |
| 第5章 黑磷减薄应用研究 | 第89-101页 |
| 5.1 超薄层黑磷获取 | 第89-90页 |
| 5.2 黑磷FET器件减薄前后电学性能变化 | 第90-95页 |
| 5.2.1 FET器件制作工艺流程 | 第91-92页 |
| 5.2.2 FET器件性能及减薄后性能测试 | 第92-95页 |
| 5.3 黑磷表面氧化层去除 | 第95-97页 |
| 5.4 黑磷三维结构加工 | 第97-99页 |
| 5.5 本章小结 | 第99-101页 |
| 第6章 总结与展望 | 第101-103页 |
| 6.1 总结 | 第101-102页 |
| 6.2 展望 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-107页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第107-109页 |
| 致谢 | 第109页 |
