| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 课题背景 | 第11页 |
| 1.2 电介质材料发展及分类 | 第11-12页 |
| 1.3 电介质材料储能原理 | 第12-14页 |
| 1.4 电介质陶瓷储能材料分类 | 第14-21页 |
| 1.4.1 线性电介质储能材料 | 第14页 |
| 1.4.2 反铁电电介质储能材料 | 第14-16页 |
| 1.4.3 铁电电介质储能材料 | 第16-21页 |
| 1.5 锆钛酸铅基铁电储能材料 | 第21-28页 |
| 1.5.1 锆钛酸铅铁电体 | 第21-22页 |
| 1.5.2 PZT储能材料研究现状 | 第22-23页 |
| 1.5.3 层状复合薄膜电容器研究现状 | 第23-28页 |
| 1.6 研究目的和主要内容 | 第28-29页 |
| 第2章 实验材料与研究方法 | 第29-35页 |
| 2.1 实验原材料 | 第29页 |
| 2.2 薄膜的制备工艺 | 第29-32页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第29-30页 |
| 2.2.2 PZ和PZT等前驱体溶液的配制 | 第30-31页 |
| 2.2.3 薄膜制备工艺 | 第31-32页 |
| 2.3 薄膜的微观结构表征 | 第32-33页 |
| 2.3.1 XRD物相分析 | 第32-33页 |
| 2.3.2 SEM微观形貌分析 | 第33页 |
| 2.3.3 表面粗糙度分析 | 第33页 |
| 2.4 薄膜的电学性能表征 | 第33-35页 |
| 2.4.1 电极的制备 | 第33-34页 |
| 2.4.2 铁电性能测试 | 第34页 |
| 2.4.3 介电性能测试 | 第34-35页 |
| 第3章 PZT薄膜储能性能研究 | 第35-48页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 退火温度对PZT薄膜微观结构和电学性能影响 | 第35-39页 |
| 3.2.1 退火温度对PZT薄膜微观结构影响 | 第35-37页 |
| 3.2.2 退火温度对PZT薄膜电学性能影响 | 第37-39页 |
| 3.3 退火次数对PZT薄膜微观结构和电学性能影响 | 第39-43页 |
| 3.3.1 退火次数对PZT薄膜微观结构影响 | 第39-42页 |
| 3.3.2 退火次数对PZT薄膜电学性能的影响 | 第42-43页 |
| 3.4 LNO种子层对PZT薄膜微观结构和电学性能影响 | 第43-46页 |
| 3.4.1 LNO种子层对PZT薄膜微观结构影响 | 第43-44页 |
| 3.4.2 LNO种子层对PZT薄膜电学性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 PZT基层状复合薄膜储能性能研究 | 第48-59页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 PZ薄膜制备及性能分析 | 第48-50页 |
| 4.2.1 PZ薄膜的微观结构 | 第48-49页 |
| 4.2.2 PZ薄膜的储能性能 | 第49-50页 |
| 4.3 PZT/PZ/PZT层状复合薄膜制备及储能性能研究 | 第50-54页 |
| 4.3.1 PZT/PZ/PZT层状复合薄膜的制备 | 第50页 |
| 4.3.2 PZ层厚度对PZT/PZ/PZT层状复合薄膜微观结构影响 | 第50-52页 |
| 4.3.3 PZ层厚度对PZT/PZ/PZT层状复合薄膜储能性能影响 | 第52-54页 |
| 4.4 PZT/PZ交错层状复合薄膜制备及储能性能研究 | 第54-58页 |
| 4.4.1 PZT/PZ交错层状复合薄膜制备制备 | 第54页 |
| 4.4.2 周期数对PZT/PZ层状复合薄膜的微观结构的影响 | 第54-56页 |
| 4.4.3 不同结构的PZT/PZ层状复合薄膜的储能性能 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 元素掺杂PZT薄膜储能性能研究 | 第59-79页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 La掺杂PZT薄膜Pb_(1-x)La_xZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3(PLZT)的微观结构和性能研究 | 第59-63页 |
| 5.2.1 同La含量PLZT薄膜的微观结构的影响 | 第59-61页 |
| 5.2.2 不同La含量对PLZT薄膜性能的影响 | 第61-63页 |
| 5.3 Ta掺杂PZT薄膜PbZr_(0.52)Ti_(0.48-x)Ta_xO_3(PZTT)的微观结构和性能研究 | 第63-68页 |
| 5.3.1 不同Ta含量对PZTT薄膜微观结构的影响 | 第63-66页 |
| 5.3.2 不同Ta含量对PZTT薄膜性能的影响 | 第66-68页 |
| 5.4 Ta掺杂PZT/LNO薄膜(PZTT/LNO)的微观结构和性能研究 | 第68-72页 |
| 5.4.1 不同Ta含量掺杂对PZTT/LNO薄膜的微观结构影响 | 第68-71页 |
| 5.4.2 不同Ta含量掺杂对PZTT/LNO薄膜的性能影响 | 第71-72页 |
| 5.5 Ta掺杂Pb_(0.92)La_(0.08)(Zr_(0.52)Ti_(0.48-x)Ta_x)O_3薄膜(PLZTT)微观结构和性能研究 | 第72-78页 |
| 5.5.1 不同Ta含量掺杂对PLZTT薄膜的微观结构的影响 | 第72-75页 |
| 5.5.2 不同Ta含量掺杂对PLZTT薄膜性能的影响 | 第75-78页 |
| 5.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
