| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第18-37页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第18-19页 |
| 1.2 国内外直线度测量技术研究进展及现状 | 第19-35页 |
| 1.2.1 激光准直测量法 | 第19-23页 |
| 1.2.2 激光光栅测量法 | 第23-27页 |
| 1.2.3 激光旋光测量法 | 第27-28页 |
| 1.2.4 激光干涉测量法 | 第28-34页 |
| 1.2.5 各种测量方法小结 | 第34-35页 |
| 1.3 论文研究目的和内容安排 | 第35-37页 |
| 第2章 激光单频偏振干涉直线度及位移同时测量方法研究 | 第37-53页 |
| 2.1 概述 | 第37页 |
| 2.2 激光单频偏振干涉测量原理 | 第37-41页 |
| 2.2.1 激光单频线偏振干涉原理 | 第37-38页 |
| 2.2.2 激光单频圆偏振干涉原理 | 第38-39页 |
| 2.2.3 激光单频偏振干涉位移测量 | 第39-41页 |
| 2.3 激光单频偏振干涉直线度测量模型 | 第41-46页 |
| 2.3.1 以渥拉斯顿棱镜为移动镜 | 第41-44页 |
| 2.3.2 以双直角反射棱镜为移动测量镜 | 第44-46页 |
| 2.4 激光单频偏振干涉直线度及位移同时测量光路设计 | 第46-49页 |
| 2.4.1 间接检测光路 | 第46-47页 |
| 2.4.2 直接检测光路 | 第47页 |
| 2.4.3 两种检测光路分析与优化 | 第47-49页 |
| 2.5 激光单频偏振干涉直线度误差及位移同时测量原理 | 第49-51页 |
| 2.6 本章小结 | 第51-53页 |
| 第3章 直线度及位移同时测量运动误差检测与补偿方法研究 | 第53-72页 |
| 3.1 概述 | 第53页 |
| 3.2 测量镜运动误差对测量光束影响 | 第53-62页 |
| 3.2.1 运动误差对测量光束方向影响 | 第53-57页 |
| 3.2.2 运动误差对测量光束横向偏移影响 | 第57-62页 |
| 3.3 激光单频偏振干涉直线度及位移同时测量与运动误差检测光路 | 第62-63页 |
| 3.4 运动误差测量原理 | 第63-67页 |
| 3.4.1 俯仰角与偏摆角误差测量 | 第63-65页 |
| 3.4.2 滚转角与水平直线度误差测量 | 第65-67页 |
| 3.5 直线度及位移测量的运动误差分析与补偿 | 第67-71页 |
| 3.5.1 测量镜内部的光程分析 | 第67-69页 |
| 3.5.2 渥拉斯顿棱镜内部及测量镜外部光程分析 | 第69-70页 |
| 3.5.3 直线度及位移运动误差补偿 | 第70-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第4章 六自由度参数同时测量信号处理方法研究 | 第72-94页 |
| 4.1 概述 | 第72页 |
| 4.2 信号处理总体方案 | 第72-73页 |
| 4.3 激光单频偏振干涉信号处理方法 | 第73-85页 |
| 4.3.1 干涉信号预处理与前置处理 | 第74-76页 |
| 4.3.2 干涉信号整数计数 | 第76-78页 |
| 4.3.3 干涉信号小数计数 | 第78-80页 |
| 4.3.4 整小数结合计数 | 第80-81页 |
| 4.3.5 相位非正交整小数计数误差修正方法 | 第81-83页 |
| 4.3.6 基于FPGA的干涉信号处理实现与仿真验证 | 第83-85页 |
| 4.4 干涉条纹图像处理方法 | 第85-88页 |
| 4.4.1 干涉条纹分离与条纹直线拟合算法 | 第85-87页 |
| 4.4.2 基于LabVIEW的干涉条纹图像处理实现与仿真验证 | 第87-88页 |
| 4.5 光斑位置信号处理 | 第88-91页 |
| 4.5.1 四象限探测器信号处理 | 第88-89页 |
| 4.5.2 光斑位置信号参数推导与仿真分析 | 第89-91页 |
| 4.6 软件系统设计与实现 | 第91-92页 |
| 4.7 本章小结 | 第92-94页 |
| 第5章 测量系统性能影响因素分析 | 第94-124页 |
| 5.1 概述 | 第94页 |
| 5.2 偏振非线性误差分析 | 第94-119页 |
| 5.2.1 偏振非线性误差分析模型 | 第94-99页 |
| 5.2.2 激光偏振态椭偏化影响分析 | 第99-101页 |
| 5.2.3 渥拉斯顿棱镜安装误差影响分析 | 第101-105页 |
| 5.2.4 测量镜转动误差影响分析 | 第105-107页 |
| 5.2.5 四分之一波片安装误差影响分析 | 第107-115页 |
| 5.2.6 偏振分光棱镜安装误差影响分析 | 第115-119页 |
| 5.3 环境因素干扰分析 | 第119-120页 |
| 5.4 直线度误差评定方法 | 第120-122页 |
| 5.5 本章小结 | 第122-124页 |
| 第6章 实验结果及分析 | 第124-142页 |
| 6.1 概述 | 第124页 |
| 6.2 测量系统研制 | 第124-125页 |
| 6.3 可行性验证实验 | 第125-127页 |
| 6.4 综合性能验证实验 | 第127-137页 |
| 6.4.1 俯仰角与偏摆角误差测量比对实验 | 第127-129页 |
| 6.4.2 滚转角误差测量比对实验 | 第129-131页 |
| 6.4.3 水平直线度误差测量比对实验 | 第131-133页 |
| 6.4.4 垂直直线度误差测量比对实验 | 第133-135页 |
| 6.4.5 位移测量比对实验 | 第135-137页 |
| 6.5 应用性验证实验 | 第137-138页 |
| 6.6 测量不确定度分析 | 第138-140页 |
| 6.7 本章小结 | 第140-142页 |
| 第7章 总结与展望 | 第142-147页 |
| 7.1 总结 | 第142-144页 |
| 7.2 主要创新点 | 第144-145页 |
| 7.3 展望 | 第145-147页 |
| 参考文献 | 第147-158页 |
| 攻读博士学位期间取得的相关研究成果 | 第158-159页 |
| 致谢 | 第159页 |
