| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 本论文研究工作的目的与意义 | 第10-11页 |
| 1.3 论文的组织结构 | 第11-13页 |
| 第二章 DIMES工艺流程与EDA基础 | 第13-23页 |
| 2.1 工艺流程 | 第13-20页 |
| 2.2 EDA基础 | 第20-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 基于DIMES工艺仿真与器件建模 | 第23-33页 |
| 3.1 工艺仿真 | 第23-26页 |
| 3.1.1 SN电阻条工艺仿真及器件仿真 | 第23-25页 |
| 3.1.2 MOS管工艺仿真及器件仿真 | 第25-26页 |
| 3.2 器件建模 | 第26-32页 |
| 3.2.1 BSIM 3v3模型 | 第26-27页 |
| 3.2.2 MOS管BSIM 3v3建模 | 第27-28页 |
| 3.2.3 SN电阻建模 | 第28-32页 |
| 3.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 基于DIMES工艺EDA文件创建 | 第33-42页 |
| 4.1 创建工艺库文件 | 第33-35页 |
| 4.1.1 创建工艺技术文件 | 第33-34页 |
| 4.1.2 创建图层显示文件 | 第34-35页 |
| 4.2 编写DRC文件 | 第35-40页 |
| 4.2.1 制定设计规则检查要求 | 第35-38页 |
| 4.2.2 制定设计规则检查命令 | 第38-40页 |
| 4.3 编写LVS文件 | 第40-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 基于DIMES工艺SAR ADC的电路设计与仿真 | 第42-69页 |
| 5.1 ADC架构分析 | 第42-47页 |
| 5.2 SAR ADC架构中DAC选择 | 第47-50页 |
| 5.3 SAR ADC系统设计 | 第50-56页 |
| 5.3.1 采样方式的选择 | 第50-52页 |
| 5.3.2 DAC对电容电阻失配的要求 | 第52-55页 |
| 5.3.3 SAR ADC系统结构 | 第55-56页 |
| 5.4 时序电路模块设计 | 第56-59页 |
| 5.4.1 采样信号产生模块设计 | 第56-57页 |
| 5.4.2 SAR时序控制模块设计 | 第57-59页 |
| 5.5 比较器模块设计 | 第59-61页 |
| 5.6 电压倍增电路设计 | 第61-63页 |
| 5.7 系统总体仿真结果 | 第63-66页 |
| 5.7.1 系统转换过程仿真 | 第63-64页 |
| 5.7.2 静态特性仿真 | 第64-65页 |
| 5.7.3 动态特性仿真 | 第65-66页 |
| 5.8 系统的版图设计与流片 | 第66-68页 |
| 5.9 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第74-75页 |